ICS 71.040.40 G 86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 5832.3—2011 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 Determination of moisture in gases- Part 3 : The method of Cavity Ring-Down Spectroscopy 2011-12-30发布 2012-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 5832.3—2011 前言 GB/T5832《气体中微量水分的测定》目前分为3部分： 第1部分：电解法； 第2部分：露点法； 第3部分：光腔衰荡光谱法。 本部分为第3部分。 本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本部分由中国石油和化学工业联合会提出。 本部分由全国气体标准化技术委员会（SAC/TC206）归口。 本部分起草单位：西南化工研究设计院、广思（北京科技有限公司、中国计量科学研究院、上海市计 量测试技术研究院、西安鼎研科技有限责任公司 本部分主要起草人：阎文斌、王亚民、周泽义、陈鹰、何道善、陈雅丽、周鹏云、石兆奇。 I GB/T 5832.3—2011 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 1范围 本部分规定了采用光腔衰荡光谱法测定气体中微量水分的术语和定义、方法原理、对仪器的一般要 求、试验步骤、结果处理和报告。 本部分适用于含量的体积分数为0.2X10-9～20X10-的气体中水分的测定。不适用于硅烷等遇 光照易分解及含有对水的吸收光谱有干扰的组分的气体中水分的测定。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 光腔 Cavity 由高反射率的镜面组成的稳定光学谐振腔。 3.2 光腔衰荡Cavity Ring-Down 光在光腔内来回反射振荡，由于腔损耗和腔内被测组分的吸收，光强度随时间呈N次单指数衰减。 3.3 光腔衰荡时间Cavityring-DownTime 光腔内光子数量衰减到初始量的1/e（e为自然数）时所用的时间。 4方法原理 束单波长激光进入光腔后，光束在腔镜之间来回反射振荡。当切断光源后，其能量就会随时间而 衰减，衰减的速度与光腔自身的损耗（包括透射、散射）和腔内被测组分（介质）的吸收有关。对于给定的 光腔，其自身的损耗为常量。光能量衰减的速度与被测组分的含量有关。被测组分的含量与其分子在 光腔内的密度成正比，分子的密度由衰荡时间按式（1)确定： 1 1 D= (t(v) (1) c .o(v) Temp 式中： tempty——无吸收介质的衰荡时间，单位为秒(s)； 一光速； 1