ICS13.040.35 C 70 中华人民共和国国家标准 GB/T 36306—2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南 Cleanrooms and associated controlled environments- Guidelines for airborne chemical contamination control 2018-10-01实施 2018-06-07发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T36306—2018 目 次 前言 引言 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 污染源、分级与分类· 4 5 检测 6空气化学污染控制 附录A（资料性附录） 微电子和光电子领域对空气化学污染物的分级与分类 附录B（资料性附录） 气相污染物监测与相关分析测定仪器 附录C（资料性附录）控制化学分子污染设施系统 附录D（资料性附录）微电子工业洁净室空气化学污染控制标准 参考文献 GB/T36306—2018 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 本标准由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319）提出并归口。 本标准起草单位：南京天加环境科技有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、苏州华 泰空气过滤器有限公司、苏州市计量测试研究所、爱美克空气过滤器（苏州）有限公司、中国电子工程设 计院、苏州市恩威特环境技术有限公司、中电投工程研究检测评定中心、苏州净化工程安装有限公司、北 京希达建设监理有限责任公司、北京世源希达工程技术公司、中国标准化协会、中天道成（苏州）洁净技 术有限公司、深圳新科特种装饰工程公司。 标准主要起草人：王尧、娄宇、李启东、朱兰、杨子强、蔡杰、王小兵、徐小浩、张利群、吴小泉、钱菁、 蒋乃军、石小雷、姜皓遐、耿文韬、吴益峰、翟传明、苏钢民、安志星、刘娜、殷晓冬 GB/T363062018 引言 从通风专业的角度来看空气化学污染物的特点是： a 颗粒度<0.0lum通常在0.2nm~5nm的范围； b） 在通常状态下是以蒸汽或气体状存在； c）可以完全穿透常规高效过滤器/超高效过滤器； d）不能使用粒子计数器检测。 目前，空气污染控制技术主要针对微电子、光电子领域 国际半导体设备与材料协会的标准SEMIF21-95将空气化学污染物分成四大类：酸性气体、碱性 气体、气相可凝聚化合物和气相掺杂化合物。但即使同类中的不同污染物之间性质差别还是很大，某些 污染物的浓度可随环境的温度、湿度变化而改变以及污染源有很大的随机性等，且品种、数量之多已是 不胜枚举。由于改性活性炭技术的进展，对于很多污染气体已能达到对症下药，实施针对性的控制空气 化学污染。在应用中，供应商提供的不仅仅是化学过滤器，而是根据现场环境的特点提供最有效的解决 方案。准确提供洁净室及相关受控环境中污染气体的品种和浓度的水平，将为过滤器供应商更合理的 选用充填介质的配方及配比创造条件，控制环境中的化学污染物达到所在环境限定的浓度值，最终将取 得更佳的净化效果。 GB/T36306—2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南 1范围 本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。 本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学 污染控制。 本标准不适用于核能和军事应用。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 2006,IDT) 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 空气分子污染 airbmemolecularcontamination;AMC 以气态或蒸汽态存在于洁净室及相关受控环境中，可危害产品、工艺、设备的分子（化学的、非颗粒） 物质。不包含生物大分子。AS 注：空气分子污染即空气化学污染 3.2 环境反应监测法 environmental response monitoring methods;ERMs 综合监测腐蚀性气体对芯片的腐蚀程度的方法。 注：将环境反应采样片（ERCs）放在各个待测区域，如新风机组的进出口，循环风机组进出口等，时间是以30天为 一个周期，观察采样片厚度的变化，以A（Angstrom）为单位 3.3 污染物 contaminant 能对流体的预期使用产生负面影响的物质（固体、液体和气体）。 3.4 气相空气净化装置 gas phase air cleaner device;GPACD 能去除特定的气体和蒸汽等气相污染物的组装设备。 注：在本标准中即化学过滤器，化学过滤器属于气相空气净化装置的一种。 3.5 空气化学污染 air chemical contamination 气相的非颗粒物质，其化学性质对产品、生产工艺或设备产生不利的影响。 1 GB/T36306—2018 4污染源、分级与分类 4.1 污染源 4.1.1室外环境的空气污染物：SO、VOCs、O、NH3、H,S、HCI等。 4.1.2作业人员携带：汗水（NH）、K离子、PVC手套、香水、发胶等 4.1.3 制程逸散：制程化学原料一一光刻胶、清洗剂、显影剂、去光阻剂、特气泄漏等 4.1.4 洁净室用材“释气”和设备泄漏：涂料、各类密封胶、塑料材质、机台维修等 4.2 分级与分类 4.2.1 -般的分级见GB/T25915.8—2010中表1。 4.2.2 微电子和光电子领域的分类与分级参见附录A。 5检测 5.1 单项污染物检测参见附录B中B.1、B.2。 5.2 2环境反应监测法（ERMs）参见B.3。 注：5.2是采取较长时间的取样方法，通过检测判定分子污染综合影响 6 空气化学污染控制 6.1 确定是否污染及情况 定性确定是否有空气化学污染。如有，需分析测定污染物的类型和浓度范围。 6.2控制措施 6.2.1采用化学过滤器并根据污染物和控制目标，对空气化学过滤器的过滤介质（如活性炭、改性活性 炭等）的有效性、装填密度，过滤器的设计、加工的优劣（防止沟流）等进行分析并选择。 注：化学过滤器的性能及检测参见GB/T36370—2018。 注：空气化学过滤器使用寿命通常为一年，该指标是在标准指定试验条件下测定的结果，与实际使用条件有偏差， 只能作为参考 6.2.3控制化学分子污染设施系统参见附录C。 6.2.4微电子工业洁净室空气化学污染控制参见附录D。 2 GB/T 36306—2018 附录A （资料性附录） 微电子和光电子领域对空气化学污染物的分级与分类 微电子和光电子领域常见空气化学污染AMC的分级、分类见表A.1，表A.2。 注：参照半导体设备与材料学会SEMIF21-1102标准。 表 A.1 四类污染物浓度分级 污染物种类 1 10 100 1.000 10000 酸类 MA-1 MA-10 MA-100 MA-1000 MA-10000 碱类 MB-1 MB-10 MB-100 MB-1000 MB-10000 可凝聚物 MC-1 MC-10 MC-100 MC-1000 MC-10000 掺杂物 MD-1 MD-10 MD-100 MD-1000 MD-10000 注：浓度为pptM级。 表 A.2 各类空气化学污染物的代表性化合物 SEMIF21-1102AMC分类 重要气相分子污染物 酸类 氢氟酸，硫酸，盐酸，硝酸，磷酸，氢溴酸 氨气（氢氧化铵），四甲基氢氧化胺，三甲基胺 三乙基胺，N-甲基吡咯烷酮，环己胺， 碱类 二乙氨基乙醇，甲基胺，二甲基胺，乙醇胺 1.4-氧氮六环 硅油（沸点≥150℃） 可凝聚化合物类 碳氢化合物（沸点≥150℃） 硼（通常如硼酸）， 掺杂物类 红磷（通常如有机麟酸酯）， 砷（通常如砷酸盐） 3