ICS13.040.35 C 70 中华人民共和国国家标准 GB/T 36527—2018 洁净室及相关受控环境 节能指南 Cleanroom and associated controlled environments- Guideline of energy saving 2018-11-01实施 2018-07-13发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 36527—2018 目 次 前言 I 1 范围 2 术语和定义 3缩略语 4 指南 附录A（资料性附录） 洁净室净化空调系统的节能 GB/T36527—2018 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319）提出并归口。 本标准起草单位：中国电子工程设计院、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、南京天加环境 科技有限公司、常州祥明电机有限公司、中天道成（苏州）洁净技术有限公司、中电投工程研究检测评定 中心、中国标准化协会、北京世源希达工程技术有限公司、上海德威净化设备工程有限公司、深圳新科特 种装饰工程公司、北京希达建设监理有限责任公司、中国电子学会洁净技术分会、海南中电工程设计有 限公司。 本标准主要起草人：王尧、张利群、陈霖新、蒋立、杨子强、姜皓遐、钱菁、石小雷、殷晓冬、张敏、吕明、 翟传明、苏钢民、王鸿明、徐火炬、李国平、刘娜、张玉斌、王大千。 Ⅲ GB/T 36527—2018 洁净室及相关受控环境 节能指南 1范围 本标准给出了对洁净室及相关受控环境的节能指南。 本标准适用于洁净室及相关受控环境 2 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 2.1 热泵系统heatpumpssestem 将与周围介质温度相近的低位热源转移到高位热源，实现供热（冷）的系统，由热泵和相关装置 组成。 2.2 净化空调系统 aircleaningconditioningsystem 用于洁净室的空气净化用的空气调节系统 2.3 AG 显热 sensibleheat 在物质的吸热或放热过程中，能使其温度发生变化的热量。 2.4 最小新风量 minimumfresh airrequirement 单位时间内，为满足室内人员对新解空气的最低需要，或保证洁净室压差，而引入空气调节房间或 系统的空气量。 2.5 一次回风primaryreturnair 在集中空气处理设备中，与新风混合的部分室内空气。 2.6 二次回风secondaryreturn air 在集中空气处理设备中，与处理过的混合空气再次混合的室内空气。 2.7 冷热源系统 根据洁净室的HVAC系统和产品生产工艺以及公用动力系统的冷量、热量需要，洁净室厂房设置 的供冷系统、供热系统。 2.8 自然冷却 不开启制冷压缩机，利用环境低温对所需冷冻（却）水进行冷处理。 注：通常指对制冷冷冻水和循环冷却水的冷处理。 1 GB/T36527—2018 3缩略语 下列缩略语适用于本文件。 AHU空调机组（空气处理单元）（AirHandlingUnit） DC干表冷（DryCooling) FFU风机过滤单元（FilterFanUnit) HVAC暖通空调（HeatingVentilationAir-Conditioning） MAU 新风机组（Make-UpAirUnit) RHU 循环风空调机组（RecirculationAirHandlingUnit） 4指南 4.1概述 4.1.1优化热传递过程，在洁净室的净化空调系统、冷热源系统中的换热器的设置、选用和确定技术参 数时，应符合下列要求： a）在各类热传递过程中应按具体技术参数合理设置换热器，并应做到增大对数温度差、提高传热 系数，降低“冷”“热”端温度差。 b）在换热器结构型式选择时，应充分发挥工作介质特性，合理选用板式、圆管式、扁管式、特型管 式等类型的换热装置。 4.1.2合理回收利用各种品位的余热，一般应符合下列要求： a) 根据生产工艺、公用动力系统特点和技术参数，充分利用自然环境的低品位热能，降低能源消耗 b) 按洁净室对供冷、供热的需要，合理利用制冷系统制冷机的冷凝热，降低一次能源消耗 4.1.3应用热泵系统，一般有下列应用方式： a）根据可获得的热源，经技术经济比较，在制冷站中配置一定比例的热泵型制冷机，既满足供热 需要，也提供相应的冷量。 b) 当具有符合要求的工业排水余热或适宜的地表水源时，应优先采用水源热泵系统， 4.1.4可采用燃气冷热电联供分布式能源系统，提高一次能源利用率。 4.2路径 4.2.1主要路径 节能路径主要有：环境参数和布置的合理、优化：选用节能产品；HVAC系统节能；冷热源系统节 能；能源综合利用；系统运行管理等，见表1。 表1洁净室节能路径提示（不限于此） 序号 减少能量消耗路径 调控、优化方式 1 洁净室环境参数和布置的合理性 分析生产工艺技术条件，进行参数和布置优化 2 合理确定设备裕量（冷热量、风量）和选用节能产品 设计控制 8 HVAC系统的流程对产品特性的符合性 设计、使用单位控制 2 GB/T36527—2018 表1(续) 序号 减少能量消耗路径 调控、优化方式 HVAC系统节能： 最小新风量优先 · 最佳送风点选择，避免“冷热相冲” 降低空调风机温升 设计、使用单位控制 4 . 二级表冷应用 ·中温水系统的应用 ：系统严密性（漏风率最低） 冷热源系统节能： 合理选用热源，有条件时采用热回收等 不同季节冷热源系统供应参数调整 设计、使用单位控制 5 按HVAC系统特点，采用中温/低温供冷系统 根据气象条件，合理选用“自由冷却”供冷系统 合理利用低品位热能和应用热泵系统 按实际热力学参数，根据需求进行技术经济比较 各类设备的余热（废热）回收利用 确定 根据所在地区和企业条件，按节能环保效益、经 7 综合能源供应系统和燃气冷热电联供分布式能源应用 济效益选择 8 完整的管理文件和相应的措施 洁净室的运行管理 洁净室环境参数包括空气洁净度等级、温度、相对湿度、压力等 b符合性包括HVAC系统的流程及设备配置、系统划分、送风量、新风量等是否满足洁净室产品生产工艺要求。 4.2.2 洁净室HVAC系统 4.2.2.1 常用5种典型系统流程见表2。 4.2.2.2 洁净室HVAC系统的设计要点： a) 根据环境条件和对污染物控制要求，确定空气过滤系统 根据产品生产工艺要求，确定洁净室的洁净度等级、压力、温度、湿度，并在优化空气处理过程 的基础上合理选择净化空调系统，避免“冷热相冲”，实现最小新风量优先等措施。 在保证洁净度等级和规定压力的前提下，合理选择气流流型、准确计算送风量。 表2常用的5种典型的HVAC系统流程 序号 类型 流程示意图 新风一 全新风直流系统 易燃、易爆，有毒、有害气体环境（如动物房、生物安全实验 CR 室等） 新风 次回风系统 空调风量≥净化风量（净化级别低，室内热负荷大的洁净 [AHI CR 室) 3 GB/T36527—2018 表2(续) 序号 类型 流程示意图 新风 二次回风系统 ? CR 电子、医药工厂常用的系统，比较节能 -次 回风 回风 新风-MALD RHIIG MAU+RHU系统 ④ 目前医院常用流程，比较节能，系统简单 新风- MAU+FFU+DC系统 ? 大面积、高洁净度电子工厂（芯片厂、液晶显示器厂）典型 MA 的系统 4.2.3洁净室HVAC 系统的节能 4.2.3.1空调风量与净化风量分离，即降温冷媒与除湿冷媒分开，空调风量经过空调机组进行热湿处 理，保证温湿度；净化风量不经过空调机组只是由FFU就地循环保证洁净度 4.2.3.2消除空气处理过程的冷热抵消现象。 4.2.3.3空调机组风机的全压一般都在1500Pa以上，实测和计算的风机温升都超过1.5℃；而FFU 风机的全压一般均小于300Pa，其风机温升只有0.5℃。由于净化空调系统的风机及电机均在气流中， 减少风机温升就是降低热负荷，设计尽量选用高效风机及电机，且应尽量降低风机的全压。 4.2.3.4在保证作业人员不小于50m/（h·人）的新鲜空气量的基础上，尽量控制和减少生产设备的 排风量，工艺设备的排风尽量密闭或加围挡，既减少了排风量同时也能提高排风的效果，加强围护结构、 空调机组和送、回风管道的密封性，在维持一定正压的条件下尽可能减少送风量。 4.2.3.5在满足生产工艺要求的前提下，尽量放宽温湿度精度的要求。根据实际检测和计算，夏季时当 把温度精度放宽1℃时，空调耗冷量可减少5%左右（即节能5%左右）。相对湿度精度放宽5%时，空 调耗冷量也可减少5%左右。在保证要求的前提下，可合理放宽温湿度控制精度要求 4.2.3.6净化空调系统中的风机、水泵采取变频措施。 4.2.3.7 不同洁净等级洁净室综合能耗情况参见附录A的表A.1~表A.4。 4.2.4冷热源系统 冷热源系统的设计要点如下： a）本 4