ICS 71.040.40 G 86 中华人民共和国国家标准 GB/T 35315—2017 LED行业用氨气处理指南 Guide for ammonia effluent handling in LED industry 2018-04-01实施 2017-12-29发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T35315—2017 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位：苏州金宏气体股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东 华特气体股份有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化 工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人：孙猛、金向华、牛艳东、傅铸红、杜汉盛、张晓东、郭秀丽、方华、周鹏云 GB/T353152017 LED行业用氨气处理指南 1范围 本标准规定了用水吸收法处理LED行业用氨气尾气的技术要求。 本标准适用于LED行业用氨气尾气的处理。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB50016建筑设计防火规范 GB50040动力机器基础设计规范 GB/T50087工业企业噪声控制设计规范 GB50187工业企业总平面设计规范 GB50489化工企业总图运输设计规范 TSG21固定式压力容器安全技术监察规程 特种设备质量监督与安全监察规定 特种设备安全监察条例 3 3缩略语 下列缩略语适用于本文件。 LED：发光二极管（LightEmittingDiode）： MOCVD：金属有机化学气相沉积（Metal-OrganicChemicalVaporDeposition）。 4总体要求 4.1LED行业用氨气的处理技术，应满足国家对安全、环保和职业卫生等方面的要求，同时应满足处 理工艺技术要求 4.2LED行业用氨气处理工艺的设计、建设应采取有效的隔声、消声、绿化等降低噪声的措施，噪声和 振动控制的设计应符合GB/T50087和GB50040的规定。 4.3处理技术应采取必要的措施，保证废气、废液、固体废物等废弃物的处理处置符合相应标准的要求。 4.4处理工艺的总平面布置按GB50016、GB50187和GB50489的规定执行。 4.5处理工艺的设备应符合TSG21、《特种设备质量监督与安全监察规定》、《特种设备安全监察条例》 的相关规定 5 工艺流程 5.1工艺流程图 LED行业用氨气处理工艺应由氨气尾气收集系统、氨气吸收系统、中和吸收系统、冷源提供系统 1 GB/T35315—2017 氨水收集系统等组成。其典型的LED行业用氨气处理工艺流程见图1。 冷冻水 氮气、氢气放窄 本 氨气星气, 缓冲罐 一级吸收器 二级吸收器 三级吸收器 四级吸收器 4 递缀吸收 递级吸收 硫酸滴加器 氨水储罐 图1LED行业用氨气处理工艺流程图 5.2工艺流程描述 通过引风机将氨气尾气送进缓冲罐进行缓冲，经缓冲的氨气尾气进人一级吸收器，在一级吸收器内 氨气尾气与冷冻水和二级吸收器来的氨水逆向接触，吸收氨气尾气中的氨气，吸收剩余气从一级吸收器 项去二级吸收器，氨水则经过滤器过滤后进入氨水储罐。来自一级吸收器的吸收剩余气进入二级吸收 器后与冷冻水和三级吸收器来的氨水逆向接触，进一步吸收剩余气中氨，二级吸收剩余气从二级吸收器 顶去三级吸收器，二级吸收的氨水从二级吸收器底去一级吸收器，进一步吸收氨气以提高氨水浓度。二 级来的吸收剩余气进入三级吸收器后与冷冻水进行逆向接触，吸收剩余气中氨，三级吸收尾气从三级吸 收器顶去四级吸收器，三级吸收的氨水从三级吸收器底去二级吸收器，进一步吸收氨气提高氨水浓度。 三级来的吸收尾气进入四级吸收器后与硫酸滴加器来的硫酸进行中和吸收，彻底吸收氨气尾气中的氨 气，中和后剩余的氮气和氢气则直接进行放空。 6处理装置主要工艺系统 6.1 氨气尾气收集系统 6.1.1氨气尾气收集系统应包括：引风机、缓冲罐。 6.1.2 收集后原料气在缓冲罐中压力：0.05MPa～0.1MPa。 氨气吸收系统 6.2 6.2.1 氨气吸收系统应包括：一级、二级、三级吸收器。 6.2.2 吸收器材质应为316不锈钢，内部填料采用聚内烯环。 6.3 中和吸收系统 6.3.1 中和吸收系统应包括：四级吸收器，硫酸滴加器。 6.3.2 吸收器材质应为316不锈钢。 6.3.3 硫酸滴加器的功能是调节溶液的酸碱度。 6.4 冷源提供系统 6.4.1 冷源提供系统应包括：冷冻机、冷冻水循环泵、冷冻水箱、冷冻循环水。 2