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ICS 81.040.10 Q 37 中华人民共和国国家标准 GB/T 32559—2016 红外类金刚石膜 Infrared diamond-like carbon coating 2016-02-24发布 2016-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32559—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国兵器工业集团公司提出和归口。 本标准起草单位:昆明物理研究所、中国兵器工业标准化研究所、云南北方驰宏光电有限公司。 本标准主要起草人:陈敏、麦绿波、杨静、马筱梅、杨金侠、董伟、徐放、田漱、李刚。 I GB/T32559—2016 红外类金刚石膜 1范围 本标准规定了红外类金刚石膜的分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本标准适用于红外光学元件上镀制的红外类金刚石膜。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 计划 GB/T12085.11—2010光学和光学仪器 界环境试验方法第11部分:长霉 术语和定义 3 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 Infrared diamond-like carbon coating 红外类金刚石膜 在红外波段能起到减反射和保护作用的一种碳的非晶态聚合物薄膜。 注:其机械性能与金刚石类似。 4 分类 红外类金刚石膜按其透过波段可分为以下三类: 短波红外波段(1μm~3μm)的红外类金刚石膜; a) b) 中波红外波段(3μm~5μm)的红外类金刚石膜; 长波红外波段(8μm~12μm)的红外类金刚石膜。 注:以上三个波段为红外光学薄膜的标称波段,可根据具体要求确定镀制波段。 5 技术要求 5.1 镀膜区域 镀膜区域应覆盖光学元件的有效通光口径,未规定有效通光口径时,未镀膜区域应按表1的规定。 表1镀膜面积 光学元件直径或最大对角线尺寸/mm 周边未镀膜区最大宽度 ≤50 1 mm >50 50mm以上,以1mm为基数每加大10mm增加0.15mm 1 GB/T32559—2016 5.2 膜层光学性能 5.2.1 光谱反射比 在红外锗、硅、硫化锌等基底上单面制备红外类金刚石膜,不同波段的光谱反射比要求按表2的 规定。 表 2 光谱反射比 波段范围 光谱反射比 锗基底 硅基底 硫化锌基底 其他基底 平均反射比 短波 最大反射比 平均反射比 ≤3.5% ≤3.5% ≤2% 中波 最大反射比 %6> %6% ≤3% 平均反射比 <3% ≤3% <2% 长波 最大反射比 ≤7% ≤7% ≤3% 注1:反射比使用单面镀红外类金刚石膜,另一面磨毛的测试片进行测量。 注2:“二”表示按需求确定技术指标。 5.2.2 光谱透射比 在红外锗、硅、硫化锌等双面抛光基底上单面制备红外类金刚石膜后,不同波段的光谱透射比要求 按表3的规定。 表 3 光谱透射比 波段范围 光谱透射比 锗基底 硅基底 硫化锌基底 其他基底 平均透射比 一 短波 最小透射比 平均透射比 ≥59% ≥67% ≥76% 中波 最小透射比 ≥58% ≥65% ≥70% 平均透射比 ≥59% ≥40.5% ≥74% 长波 最小透射比 ≥55% ≥19% ≥69% 注1:透射比使用单面镀红外类金刚石膜,另一面抛光的测试片进行测量。 注2:“”表示按需求确定技术指标。 膜层光学均匀性 5.2.3 零件表面有效口径内,膜层光学均勾性是以膜层中心与距中心75%的直径处的平均反射比或平均 透射比的相对偏差表示,按表4的规定。 2
GB-T 32559-2016 红外类金刚石膜
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