ICS 17.040.30 J 04 中华人民共和国国家标准 GB/T 34879—2017 产品几何技术规范（GPS） 光学共焦显微镜计量特性及测量 不确定度评定导则 Geometrical product specifications (GPS)-Metrological characteristics and guide to uncertainty of measurement for optical confocal microscopes 2017-11-01发布 2018-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 34879—2017 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 本标准由全国产品几何技术规范标准化技术委员会（SAC/TC240)提出并归口 本标准起草单位：哈尔滨工业大学、中机生产力促进中心、中国计量科学研究院、北京锐驰恒业仪器 科技有限公司。 本标准主要起草人：刘俭、李梦周、明翠新、陈刚、施玉书、谭久彬、王伟波、刘辰光、王宇航、李亮。 GB/T 34879—2017 产品几何技术规范（GPS） 光学共焦显微镜计量特性及测量 不确定度评定导则 1范围 本标准描述了光学共焦显微镜在宏观或微观三维表面形状测量中的计量特性，并规定了测量不确 定度评定的横向和轴向测量结果的示值读取方法。 本标准适用于工业测量光学共焦显微镜。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 ISO25178-600产品几何技术规范（GPS）表面结构：区域法第600部分：表面层析测量方法 的计量特性(Geometrical product specifications（GPS)Surfacetexture：ArealPart 6o：Metrologi- cal characteristics for areal-topography measuring methods) 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 confocalmicroscopy;CM 共焦显微术 采用约束性照明和约束性探测，借助轴向扫描获得光学层析图像，并通过提取轴向最大信号位置确 定区域样品表面形状的测量方法。 注：实现照明与探测约束的掩模图案可能为单点、多点、网格或狭缝等任一能够产生层析特性的掩模图案。 3.2 照明模式illuminationpattern 使用特定图形结构限定样品被照明范围的照明方式。 3.3 探测模式detectionpattern 使用特定图形结构限定探测器接收样品成像信号区域范围的探测方式。 3.4 光学层析能力 optical sectioning strength 共焦显微镜阻止离焦光信号被探测器接收的程度。 3.5 平面扫描 in-plane scanning 在-y平面内获得共焦层析图像的机械或光学位移 3.6 轴向扫描 axial scan 在光轴方向（向）产生样品准焦位置变化的机械或光学位移。 1 GB/T 34879—2017 3.7 轴向扫描长度 axial scan length ZTOT 共焦显微镜所能实现的最大轴向扫描范围。 3.8 轴向包络 faxial envelope 所记录的探测信号对应于共焦层析图像中单一像点轴向位置变化的函数。 z / μn U. 说明： 1 轴向包络曲线； 半高宽； U. 轴向坐标的取值范围，单位：um； 轴向实际坐标 图1共焦显微成像轴向包络示意曲线 3.9 半高宽full widthathalfmaximum 轴向包络幅度为信号最大信号幅度二分之一位置所对应的轴向区间跨度。 注：见图1中的“2” 3.10 轴向最大信号位置 axial maximum signal position 轴向扫描过程中轴向响应信号最大值所对应的轴向（向）坐标。 注：轴向响应信号最大值可以是实际探测最大值，或者是数学拟合计算的理论最大值。 3.11 共焦成像速率 confocal imaging rate 在无轴向扫描情况下，每秒钟获得的共焦扫描图像数。 3.12 轴向扫描速率 axial scanning rate fz 在轴向扫描过程中，每秒钟获得的共焦扫描图像数，或者表述为每秒钟完成采样的层析图像数。 3.13 定位算法 locationalgorithm 从轴向包络中提取轴向最大信号位置的数学算法。 2