ICS 71.040.40 G 86 中华人民共和国国家标准 GB/T 34972—2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 Determination of metal content in gases- Inductively coupled plasma mass spectrometry method 2017-11-01发布 2018-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T34972—2017 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提出并归口 本标准起草单位：上海市计量测试技术研究院、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东 华特气体股份有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱 色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人：陈鹰、姜阳、周鹏云、牛艳东、傅铸红、杜汉盛、江罗、许军洲、方华、常侠 GB/T 34972—2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 范围 本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。 金属元 素测定范围见表1。 本标准适用的电子工业用气体种类：氧、氮、氩、氨、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化 硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体 本标准适用的电子工业用气体取样状态：气态。 表 1 金属元素测定范围 元素 测定范围/(μg/L) 元素 测定范围/（ug/L) Li 0.0001~100.0 Ce 0.0005~100.0 Be 0.0005~100.0 Pr 0.0005~100.0 Na PN 0.0001~100.0 0.0005~100.0 Mg Pm 0.0005~100.0 0.0005~100.0 IV 0.001~100.0 ws 0.000 5~100.0 K Eu 0.001~100.0 0.0005~100.0 Ca Gd 0.001~100.0 0.0005~100.0 Sc Tb 0.001~100.0 0.0005~100.0 Ti 0.0001~100.0 Dy 0.0005~100.0 V Ho 0.0001~100.0 0.0005~100.0 Cr 0.0005~100.0 Er 0.0005~100.0 Mn 0.0001~100.0 Tm 0.0005~100.0 Fe Yb 0.001~100.0 0.0005~100.0 Co 0.0005~100.0 Lu 0.0005~100.0 IN JH 0.001~100.0 0.000.5~100.0 Cu Ta 0.0005~100.0 0.0005~100.0 uz 0.0001~100.0 W 0.001~100.0 Ga Re 0.001~100.0 0.0005~100.0 Ge 0s 0.001~100.0 0.0005~100.0 Rb Ir 0.0005~100.0 0.0001~100.0 Sr 0.0001~100.0 Pt 0.001~100.0 Y 0.0001~100.0 Au 0.0001~100.0 Zr Hg 0.0005~100.0 0.001~100.0 1 GB/T34972—2017 表1 (续) 元素 测定范围/（μg/L) 元素 测定范围/(μg/L) Nb 0.0005~100.0 Ti 0.001~100.0 Mo 0.0001~100.0 Pb 0.0001~100.0 Tc 0.0005~100.0 18 0.0005~100.0 Ru 0.0001~100.0 Po 0.0005~100.0 Rh 0.000 1~100.0 Fr 0.000 1~100.0 Pd 0.001~100.0 Ra 0.000 1~100.0 Ag Ac 0.000 1~100.0 0.000 1~100.0 Cd 0.0005~100.0 Th 0.000 1~100.0 In 0.0005~100.0 Pa 0.0001~100.0 Sn U 0.0001~100.0 0.000 1~100.0 qs Np 0.0005~100.0 0.001~100.0 Cs 0.0005~100.0 Pu 0.000 1~100.0 Am Ba 0.0001~100.0 0.0001~100.0 La 0.0005~100.0 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单适用于本文件。 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 4842 氩 GB/T 8979 纯氮、高纯氮和超纯氮 GB/T11446.1 电子级水 3 方法原理 气体中金属元素通过洗气瓶中的吸收液进行吸收和富集，吸收液通过适当方式处理后进样。处理 后的样品由载气（高纯氩）引人雾化系统进行雾化，以气溶胶形式进入等离子体中心区，在高温和惰性气 氛中被去溶剂化、汽化解离和电离，转化成带正电荷的正离子，经离子采集系统进入质谱仪，质谱仪根据 质荷比进行分离，根据元素质谱峰强度测定样品中相应元素的含量， 4 试剂和材料 4.1 试验用水：符合GB/T11446.1中EW-I级的要求。 4.2 硝酸（p20=1.42g/mL），金属元素含量低于0.01μg/L。 4.3 硝酸溶液（5+95）。 4.4 硝酸溶液（1+9）。 2 SZIC