ICS 71.060.50 G 12 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T333352016 高纯工业品三化硼 High purity boron tribromide for industrial use 2016-12-13发布 2017-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T33335—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出。 本标准由全国化学标准化技术委员会（SAC/TC63）归口。 本标准起草单位：贵州省产品质量监督检验院、贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、中海油天津 化工研究设计院， 本标准主要起草人：钟宏波、蒋飚、冯永渝、祝飘、陈泉、陈文强、龚宁、刘涛、周大颖、程永福、邵青松、 程群、麻晖、王琪。 I GB/T33335—2016 高纯工业品三溴化硼 警示一一高纯工业品三溴化硼在湿空气中激烈发烟，遇水猛烈反应生成硼酸，并放出溴化氢气体 在取样、检测、搬运等过程中要注意采取防护措施。接触三溴化硼时应佩戴眼镜、口罩、橡皮手套等防护 用具。严禁与水接触，避免吸入蒸汽、接触皮肤及黏膜。当发生漏损时，应用泥沙或石灰处理，如已接触 皮肤，应立即用大量流动水冲洗。 1范围 本标准规定了高纯工业品三漠化硼的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和 贮存。 本标准适用于以工业三溴化硼为原料，经提纯后制得高纯工业品三溴化硼。该产品主要应用于太 阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的扩散源等。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T 601 化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T 603 化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11446.1电子级水 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB 50472 电子工业洁净厂房设计规范 3分子式和相对分子质量 分子式：BBr3。 相对分子质量：250.52（按2013年国际相对原子质量）。 4分级 高纯工业品三漠化分为两个等级： 一6N级：纯度（基于阳离子）≥99.9999%，主要用于太阳能光伏电池扩散源； 一7N级：纯度（基于阳离子）≥99.99999%，主要用于大规模集成电路（IC）、分离器件扩散源。 1 GB/T33335—2016 5要求 5.1 外观：无色透明液体。 5.2 高纯工业品三溴化硼按本标准规定的试验方法检测应符合表1要求。 表 1要求 指标 项目 6N级 7N级 纯度(基于阳离子)w/% 99.999 9 99.99999 铝(Al)w/(μg/kg) 10 5 （Sb)w/(μg/kg) 10 3 砷(As)w/(μg/kg) 4 1 钡（Ba)w/(μg/kg) 2 1 铋(Bi)w/(μg/kg) 2 1 镉(Cd)w/(μg/kg) 2 1 10 5 钙(Ca)w/(μg/kg) 铬(Cr)w/(μg/kg) 2 1 钴(Co)w/(μg/kg) 2 1 铜(Cu)w/(μg/kg) 5 2 (Ga)w/(μg/kg) 2 1 金(Au)w/(μg/kg) 2 1 铁(Fe)w/(μg/kg) 10 10 铅(Pb)w/(μg/kg) 2 1 锂(Li)w/(μg/kg) 2 1 镁(Mg)w/(μg/kg) 10 8 锰(Mn)w/(μg/kg) 2 1 汞(Hg)w/(μg/kg) 12 1 镍(Ni)w/(μg/kg) 2 1 10 3 钾(K)w/(μg/kg) 银(Ag)w/(μg/kg) 2 1 钠(Na)w/(μg/kg) 10 5 2 锡(Sn)w/(μg/kg) 1 (Sr)w/(μg/kg) 2 1 钛(Ti)w/(μg/kg) 2 1 钒(V)w/(μg/kg) 10 2 锌(Zn)w/(μg/kg) 5 3 色度/APHA 60 60 2