ICS 31-030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32643—2016 平板显示器基板玻璃表面波纹度的 测量方法 Flat panel displays glass substrates surface waviness measurement method 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32643—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国工业玻璃和特种玻璃标 准化技术委员会（SAC/TC447)共同归口。 本标准主要起草单位：彩虹集团公司、中国电子技术标准化研究院。 本标准主要起草人：黄宁歌、裴会川、干香、李霜、杨万来 I GB/T32643—2016 平板显示器基板玻璃表面波纹度的 测量方法 1范围 本标准适用于测量平板显示器用基板玻璃的表面波纹度。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T32642—2016平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法 3术语和定义 GB/T32642一2016界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 2CR滤波器 2CRfilter 时间常数相等的2组R-C回路串联连接的滤波器。在截止波长下的标准传输率是75% 3.2 2SZIG 高斯滤波器 Gaussianphasecorrectfilter 将高斯分布作为权函数，将截面曲线中演算积分后的曲线规定为相位补偿滤波纹度曲线，在截止波 长下的传输率是50%。 3.3 预行程（和后行程）） pre-travel (and post-travel) Lp 为避免由于截正滤光器的瞬态反应而引起的面图失真，从示踪长度上减除的部分。 注：建议在示踪长度开始阶段和没有后行程的情况下，用2CR滤波器的预行程应为截止长波长入的2倍；建议在 使用相位校正滤波器时，预行程和后行程都应该与截止长波长入相同。 3.4 测定长度 evaluation length Le 一种扣除预行程和后行程后的迹线长度。测量样品的长度应包含波纹度的剖面曲线长度。 3.5 截止长波长 longwavelengthcut-off 入L 排除自然因素，当示踪轮廓曲线通过消除波纹因素影响的高通波长滤波器后，振幅衰减率成为 75%时的波长。 1 GB/T32643—2016 3.6 相位校正滤波器 phase correct filter 传输率是50%。 4仪器设备 仪器设备应满足以下要求： a） 触针式表面粗糙度测量仪：尖部半径为2um～20um，尖部材质为金刚石材质； b）剖面滤波器：2CR滤波器或相位校正滤波器。 注：所采用的滤波方法应当确定，因为用相位校正滤波器测定的Wrm较之用2CR滤波器测得之值小。 5测量条件 使用下列测量条件： a) 计算规格：ISO-"97规格； b) 测量类型：滤波中心线膨胀测量； c) 滤波类型：高斯滤波； d) 倾斜修正：最小二乘直线修正或最小二乘曲线修正； e) 测量长度：30.00mm~100.00mm(30mm用于条纹观测切块测试。整幅测试可设定为100mm）； f) 截止波长：0.8mm~8mm； g) 测量范围：±128.0μm或±64.0μm； 测量速度：0.30mm/s或0.60mm/s； i) 入s滤波器：有； j) 截止比：300； k) 移动·返回速度：3.00mm/s（可任意设定）； 1) 返回设定：通常测量； m) 预留驱动长度：滤波波长/3×2。 6试样 一块洁净的平板显示器基板玻璃，在荧光灯或白炽灯照射下用肉眼观察，不变形无污物。 7测量步骤 间以保证样品与房间温度一致。 7.2将探针放置于样品上，放置时要求测试探头运动方向与产品流向方向一致或垂直。确定测量位 置，并标识出起始测量位置。 7.3依次打开控制箱电源、电脑主机电源及测试软件。 7.4进行各项参数设定并确认。 7.5按下坐标调节杆调节测量探针与样品表面的起始点完全接触后，进行测量。测试探头沿着样品表 面运动，测量实际轮廓平行面。