ICS 31.200 L 55 中华人民共和国国家标准 GB/T 38447—2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 Micro-electromechanical system technologyFatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration 2020-07-01实施 2020-03-06发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T38447—2020 目 次 前言 范围 规范性引用文件 2 术语和定义 试验方法 4.1 总则 4.2 试验设备 4.3 试验环境 4.4 样品要求 4.5 试验条件 4.6 试验步骤 4.7 试验报告 附录A（资料性附录） 集成激振和检测结构静电器件的试验示例 附录B（资料性附录） 外部驱动和集成应变结构（检测位移）器件的试验示例 附录C（资料性附录） 基于帕里斯(Paris)定律和韦伯（Weibull)分布的脆性材料疲劳寿命理论 表达式· 10 附录D（资料性附录） 分析示例 13 参考文献 15 GB/T38447—2020 前言 本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草， 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336)提出并归口。 本标准起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术 有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。 本标准主要起草人：张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民。 GB/T 38447—2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 1范围 本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和 试验步骤。 本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T2298机械振动、冲击与状态监测词汇 GB/T10623金属材料力学性能试验术语 GB/T26111微机电系统（MEMS)技术术语 3 术语和定义 GB/T2298、GB/T10623、GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 载荷比 loadratio 周期加载中最大值和最小值的代数比。 3.2 瞬时破坏强度 instantaneous failurestrength 静态试验或共振振动试验在快速幅值增长过程中的破坏强度， 3.3 参考强度 referencestrength 静态强度或瞬时破坏强度 4试验方法 4.1总则 通过对样品施加预期振动幅值的共振振动进行疲劳试验。当样品失效或达到预定的试验时间或次 数时，试验结束。 4.2试验设备 4.2.1概述 试验设备能够对试验结构产生恒定振幅和稳定频率的振动。试验系统由激振器、拾振传感器（以下 1