ICS17.040.30 J 42 中华人民共和国国家标准 GB/T 39516—2020 微纳米标准样板（几何量） Micro nano standard samples(geometrie) 2021-06-01实施 2020-11-19发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T 39516—2020 目 次 前言 1范围 规范性引用文件 3术语和定义 4型式与基本参数 4.1 型式 4.2 基本参数 5要求 5.1 外观 5.2 性能参数要求 6检查条件 检查方法 7 7.1 外观 7.2 微纳米线间隔标准样板的性能参数 7.3 微纳米台阶高度标准样板的性能参数 7.4 纳米膜厚标准样板的性能参数 12 7.5纳米线宽标准样板的性能参数 14 8 标志、运输及储存 15 8.1 标志 15 8.2 运输 16 8.3 储存 16 8.4 产品合格证 16 图1 线间隔示意图 图 2 台阶高度示意图 图3薄膜厚度定义示意图· 图4 线宽示意图· 图5微纳米线间隔标准样板型式示意图 图6微纳米台阶高度标准样板型式示意图 图7 纳米膜厚标准样板型式示意图 图8纳米线宽标准样板型式示意图 图9线间隔偏差有效测量区域选择示意图· 图10 线边缘粗糙度考核位置示意图 GB/T39516—2020 图 11 线边缘粗糙度示意图 图 12 均匀性测量示意图 10 图13 台阶高度测量示意图 11 图14 台阶区域均匀性测量时测量线选取示意图 12 图15 薄膜厚度偏差考核示意图 13 图16 线宽偏差测量区域选择示意图 14 图17 线宽均匀性测量位置选择示意图 15 表1微纳米线间隔标准样板的性能参数要求 表2微纳米台阶高度标准样板的性能参数要求 表3纳米膜厚标准样板的性能参数要求 表4纳米线宽标准样板的性能参数要求 GB/T39516—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国量具量仪标准化技术委员会（SAC/TC132）归口。 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治 区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量 科技有限公司。 苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞。 Ⅲ