ICS77.040 CCS H 21 中华人民共和国国家标准 GB/T41751—2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法 Test method for radius of curvature of crystal plane in GaN single crystal substratewafers 2023-02-01实施 2022-10-12发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T41751—2022 前言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任， 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。 本文件起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国电子 科技集团公司第四十六研究所、哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司、厦门柯誉尔科技有限公司、山西华晶 恒基新材料有限公司、福建兆元光电有限公司。 本文件主要起草人：邱永鑫、徐科、王建峰、任国强、李腾坤、左洪波、郑树楠、刘立娜、杨鑫宏 邝光宁、丁崇灯、陈友勇。 1 GB/T41751—2022 氮化缘单晶衬底片晶面曲率半径测试方法 1范围 本文件规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化傢单晶衬底片晶面曲率半径的方法 本文件适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化单晶衬底片晶面曲率半径的测试，氮化镓外 延片晶面曲率半径的测试可参照本文件进行。 规范性引用文件 2 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 本文件。 GB/T14264半导体材料术语 术语和定义 3 GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 衍射平面 diffractionplane X射线入射束、衍射束构成的平面。 3.2 晶面曲率半径 curvature radius of crystal plane R 衬底片名义晶面与通过衬底片中心点垂面的交线可近似的看作一段圆弧，该圆弧对应的半径 注1：在本文件中，晶面曲率半径带有符号，正号表示样品名义晶面相对于测试表面为凸起状，负号表示样品名义 晶面相对于测试表面为凹状 注2：晶面曲率是晶面曲率半径的倒数。 3.3 入射角incidentangle w角wangle X射线衍射仪人射X射线与样品台表面的夹角。 3.4 摇摆曲线 rockingcurve 固定衍射仪探测器位置，连续改变角并记录衍射强度得到的测量曲线、 4方法原理 4.1单晶的原子以三维周期性结构排列，其晶体可以看作是由垂直距离为d的一系列平行原子平面所 构成。当一束平行的单色X射线射入该平面上，若人射光与原子平面间的夹角、X射线波长入、晶面 1 GB/T41751—2022 间距d及衍射级数n同时满足布拉格定理2dsino=na时，X射线衍射束强度将达到最大值，此时的 被称为布拉格角，记作0B，如图1所示。氮化镓单晶部分晶面布拉格角见附录A。 X射线入射束 X射线衍射束 图1X射线衍射原理图 4.2当X射线人射束照射到样品的P点时，进行摇摆曲线测试，若人射角为，时发生衍射，将样品沿 衍射平面移动距离L后，X射线人射束照射到样品的P2点，再次进行摇摆曲线测试，在人射角为2时 发生衍射。如样品表面晶面平直，则=；如样品表面晶面存在弯曲，则の≠2，如图2所示。 图2 晶面曲率半径测试原理图 若样品晶面弯曲为圆弧形，则晶面曲率半径R按公式（1）计算： L L L R= ..(1) sin(w) 式中： 晶面曲率半径，单位为米（m）； L—-样品移动距离，单位为米（m）； Ao—人射角差值，单位为弧度（rad）； 样品P点的入射角，单位为弧度（rad）)； 样品P，点的入射角，单位为弧度（rad） 注：因晶面曲率半径影响产生的△较小，故在公式（1)中取sinA=A，便于计算。 5干扰因素 5.1如果样品弯曲较严重，X射线入射束尺寸过大会引起摇摆曲线半高宽的异常加宽，此时应在样品 2 GB/T41751—2022 前放置较小的人射狭缝，减小X射线在样品上的照射面积以准确确定衍射峰峰位。 5.2摇摆曲线测试时若步长过大，会使峰位确定误差较大，进而影响测试结果。 5.3在采取真空吸附等不同方式加载样品时，避免样品加载方式对样品弯曲状态产生影响 5.4若样品尺寸较小，无法按8.3规定进行测试点选取时，可另行约定测试点及测试点间距，但可能会 对测试结果产生影响。 9 试验条件 除另有规定外，应在下列环境中进行测试： 温度：18℃~28℃； a） b）相对湿度：20%~80%。 7 仪器设备 X射线衍射仪由光源、单色器、狭缝系统、样品台、探测器等部分构成，具体应符合下列要求： a) X射线衍射仪宜使用Cu靶，光源发出的X射线束经狭缝系统和单色器应成为一束单色的平 行射线； 样品台应有足够的自由度，使X射线人射束、衍射束、样品衍射晶面法线在同一平面内； 样品台应能使样品围绕其表面法线旋转，并能沿平行于衍射平面（轴）和垂直于衍射平面 ( （y轴）的方向进行精确移动，常用X射线衍射仪样品台旋转轴如图3所示。 +20 X射线衍射束 X射线入射束 图3X射线衍射仪样品台旋转轴示意图 8试验步骤 8.1 仪器校准 按照仪器说明书中的要求和方法定期进行仪器校准，确保仪器状态正常 8.2 待测晶面的选取 氮化单晶衬底片按表1选取待测晶面测试摇摆曲线计算晶面曲率半径。 3 GB/T41751—2022 表1待测晶面的选取 氮化镓单品衬底片类型 待测品面 c面 (0002) m面 (1010) a面 (1120) 8.3测试点的选取 沿着平行于样品主参考面（记为3方向）和垂直于样品主参考面（记为y方向）的两个方向分别进 行测试，每个方向的测试点应位于同一条直线上，并包含样品中心点。对于不同直径的样品按下列方式 选取测试点： a) 直径50.8mm的样品，每个方向9个测试点，各点间距5mm； b) 其他直径的样品，每个方向的各测试点间距5mm，最外侧测试点距离样品边缘为5mm～ 10mm。 8.4# 摇摆曲线测试 所示。 8.4.2将探测器放置到待测晶面20B处，人射角w=0B。 8.4.3选取摇摆曲线测试的步长，应使摇摆曲线在半高宽范围内的取样点不少于10个。 8.4.4样品沿α轴移动，依次测试方向所有测试点的摇摆曲线，并记录峰位值（i=1，2，，n，样 品上离光源最近的测试点i=1）。 8.4.5样品逆时针旋转90，此时样品的主参考面垂直于衍射平面，即样品台y轴平行于衍射平面 8.4.6样品沿轴移动，依次测试y方向所有测试点的摇摆曲线，并记录峰位值（i=1，2，，n，样 品上离光源最近的测试点i=1。 9试验数据处理 相邻两点间晶面曲率半径 9.1.1 在平行于样品主参考面方向（z方向），相邻两点间晶面曲率半径按公式（2)计算： 0.005 R= (2) Wri+1 r 式中： R.ri 工方向相邻两点间的晶面曲率半径，单位为米（m）； i 测试点，i-1,2,...n-1； 0.005 测试点间距，单位为米（m）； Wxi+1 t方向第i十1个测试点的人射角，单位为弧度（rad）； z方向第；个测试点的人射角，单位为弧度（rad）。 9.1.2在垂直于样品主参考面方向（y方向），相邻两点间晶面曲率半径按公式（3）计算： 0.005 Ryi ·(3) wy+-wy 4 GB/T41751—2022 式中： Ryt y方向相邻两点间的晶面曲率半径，单位为米（m）； i 测试点.i=1,2,..n-1; 0.005 测试点间距，单位为米（m）； Wyi+1 y方向第i+1个测试点的人射角，单位为弧度（rad)； Wyi y方向第i个测试点的人射角，单位为弧度（rad)。 9.2最小晶面曲率半径 在多点测量时，选取绝对值最小的相邻两点间晶面曲率半径记为该样品的最小晶面曲率半径。 9.3平均晶面曲率半径 9.3.1在平行于样品主参考面方向（α方向）上的平均晶面曲率半径按公式（4)计算： 0.005(n-1) R.: W-Wrl 式中： R. 方向上的平均晶面曲率半径，单位为米（m）： 0.005 测试点间距，单位为米（m）； 测试点； Wrn z方向第n个测试点的人射角，单位为弧度（rad)； 方向第1个测试点的人射角，单位为弧度（rad）。 9.3.2 在垂直于样品主参考面方向（方向）上的平均晶面曲率半径按公式（5）计算： 0.005(n-1) R. .（5) 式中： R, y方向上的平均晶面曲率半径，单位为米（m）； 0.005 测试点间距，单位为米（m）； 测试点； n y方向第n个测试点的入射角，单位为弧度（rad)； 一y方向第1个测试点的入射角，单位为弧度（rad）。 10精密度 取1片直径50.8mm氮化镓单晶衬底片样品在5个实验室按照本文件规定的方法进行测试。该 方法在单个实验室和多个实验室测试的相对标准偏差均不大于10%。 11 试验报告 试验报告应至少包括以下内容： 样品信息，包括送样单位、样品编号、表面取向等； a) 所使用的X射线衍射仪的品牌、型号及光路配置（包括靶材、狭缝系统、单色器等）： c) 样品的被测晶面； (P 测试结果，包括方向及y方向的平均晶面曲率半径及最小晶面曲率半径； e) 测量环境温度和相对湿度： 5 GB/T 41751—2022 f) 本文件编号； 测试日