ICS 25.180.10 K 61 GD 中华人民共和国国家标准 GB/T 10067.410—2014 电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉 Basic specifications for electroheat installations- Part 410: Single crystal growing furnace 2014-12-05发布 2015-04-16实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 10067.410—2014 前言 GB/T10067《电热装置基本技术条件》现有19个部分： 第1部分：通用部分； 第2部分：电弧加热装置； 第3部分：感应电热装置； 第31部分：中频无心感应炉； 第32部分：电压型变频多台中频无心感应炉成套装置： 第33部分：工频无心感应熔铜炉； 第4部分：间接电阻炉； 第41部分：网带式电阻加热机组； 第42部分：推送式电阻加热机组； 第43部分：强迫对流井式电阻炉； 第44部分：箱式电阻炉； 第45部分：真空淬火炉； 第46部分：罩式电阻炉； 第47部分：真空热处理和钎焊炉； 第48部分：台车式电阻炉； 第49部分：自然对流井式电阻炉； 第410部分：单晶炉； 第411部分：电热浴炉； 第5部分：高频介质加热设备。 根据需要还将陆续制定其他部分。 本部分为GB/T10067的第410部分，应与GB/T10067的第1部分和第4部分配合使用。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分由中国电器工业协会提出。 本部分由全国工业电热设备标准化技术委员会（SAC/TC121）归口。 本部分起草单位：西安电炉研究所有限公司、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、西安理工晶科 股份有限公司、中冶电炉工程技术中心、国家电炉质量监督检验中心、陕西省电炉工程技术研究中心。 本部分主要起草人：陈巨才、李留臣、袁芳兰、束天和、朱琳。 I GB/T10067.410—2014 电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉 1范围 GB/T10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以 及标志、包装、运输和贮存。 本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用干本文件 GB150—2011钢制压力容器 GB/T2900.23—2008电工术语工业电热装置 GB3095—2012环境空气质量标准 GB 87021998 电磁辐射防护规定 GB89781996 污水综合排放标准 GB/T10066.1一2004电热设备的试验方法第1部分：通用部分 GB/T10066.4一2004电热设备的试验方法第4部分：间接电阻炉 GB/T10067.1一2005电热装置基本技术条件第1部分：通用部分 GB/T10067.4—2005 电热装置基本技术条件第4部分：间接电阻炉 GB12348—2008 工业企业厂界环境噪声排放标准 大气污染物综合排放标准 GB162971996 JB/T96911999 电热设备产品型号编制方法 3术语和定义 GB/T2900.23—2008、GB/T10066.4—2004界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 单晶炉crystal growingfurnace 利用直拉法（czochralskimethod）或区熔法（floatingzone）拉制半导体单晶材料的一种工业电热 设备。 3.2 熔料量charge 单晶炉设计时规定的每炉次一次最大的装料量，不包括拉晶过程中添加的量。 3.3 直拉法 czochralskimethod 晶与熔融的材料相熔接，然后以一定的速度垂直向上提拉，晶体便在籽晶下端不断生长。又称引上法、 1