文库搜索
切换导航
首页
频道
安全标准
安全报告
安全文档
首页
安全标准
安全报告
安全文档
批量下载
使用说明
官方交流群
会员登录
ICS 31.200 L 55 中华人民共和国国家标准 GB/T 38446—2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 Micro-electromechanical system technology- Test methods for tensile property measurement of strip thin films 2020-10-01实施 2020-03-06发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T38446—2020 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3术语和定义 4试验方法 5数据处理 附录A(资料性附录)采用MEMS工艺的样品制备 附录B(资料性附录)对准偏差和几何结构对性能测试的影响 附录C(资料性附录)纳米压痕仪的测试结果误差及补偿 参考文献 10 GB/T38446—2020 前言 本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口 本标准起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技 有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。 GB/T38446—2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 1范围 本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。 本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品,也可用于MEMS 产品带状薄膜结构的质量监控。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。,凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T26111微机电系统(MEMS)技术术语 3 术语和定义 GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 弹性模量 量modulus of elasticity E 材料在弹性变形阶段时,应力与应变的比值。 注:改写GB/T3102.3—1993,定义3.18.1。 3.2 屈服强度 yield strength Re 当材料呈现屈服现象时,在试验期间达到塑性变形发生而力不增加的应力点。 注1:改写GB/T228.1—2010,定义3.10.2。 注2:对于屈服现象明显的材料,屈服强度就是材料发生届服现象时届服极限的应力;对于屈服现象不明显的材料, 屈服强度为应变达到残余应变0.2%时的应力。 3.3 抗拉强度 Etensile strength Rm 材料拉断过程中对应的最大应力。 注:改写GB/T228.1—2010,定义3.10.1。 3.4 挠度 deflection m 样品结构轴线在垂直于轴线方向的线位移或中面在垂直于中面方向的线位移。 1 GB/T38446—2020 3.5 偏转角 deflection angle β 弯曲的样品和连接样品两固定端直线间的夹角。 注:本标准所指样品均为带状弯曲样品。 4试验方法 4.1 1试验环境 温度:15℃~35℃; 相对湿度:20%~80%; 大气压力:86kPa~106kPa。 4.2 样品要求 4.2.1 样品的加工和尺寸 样品应使用和实际器件相同的加工工艺。 附录A描述了一种基于MEMS工艺的样品加工方法 样品形状和符号定义分别如图1和表1所示。设计样品时,应最小化弯矩的影响,样品的长度宜大 于厚度的300倍;宽度宜大于厚度的10倍;长度宜大于宽度的10倍。样品应保证平直。 21. 薄膜 图1薄膜样品 表1 样品符号和定义 符号 单位 定义 2L μm 样品长度 B 样品宽度 μm h μm 样品厚度 4.2.2 样品的尺寸测量 长度(2L)、宽度(B)和厚度(h)的测量误差应在土5%之内。 2
GB-T 38446-2020 微机电系统 MEMS 技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
安全标准
>
国标
>
文档预览
中文文档
13 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
0 收藏
3.0分
赞助1.5元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共13页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助1.5元下载
本文档由
思安
于
2023-02-24 10:20:22
上传分享
举报
下载
原文档
(1.6 MB)
分享
给文档打分
您好可以输入
255
个字符
网站域名是多少( 答案:
github5.com
)
评论列表
暂时还没有评论,期待您的金玉良言
热门文档
GB-T 42884-2023 信息安全技术 移动互联网应用程序 App 生命周期安全管理指南.pdf
GB-T 1456-2021 夹层结构弯曲性能试验方法.pdf
GB-T 7716-2014 聚合级丙烯.pdf
GB-T 42014-2022 信息安全技术 网上购物服务数据安全要求.pdf
T-CSAE 78—2018 电动汽车再生制动平顺性的评价 及试验方法.pdf
T-JSSES 24—2022 陶粒窑协同处置污染土壤技术指南.pdf
SY-T 6586-2020 石油天然气钻采设备 钻机现场安装及检验.pdf
GB/T 32925-2016 信息安全技术 政府联网计算机终端安全管理基本要求.pdf
GB-T 37655-2019 光伏与建筑一体化发电系统验收规范.pdf
GB-T 42668-2023 钐铁氮粘结永磁粉.pdf
DB35-T 1940-2020 旱地改造水田技术规范 福建省.pdf
GB-T 6900-2016 铝硅系耐火材料化学分析方法.pdf
DB63-T 2086-2022 水利水电工程堆石混凝土坝施工质量检验与评定规范 青海省.pdf
T-CESA 1040—2019 信息技术 人工智能 面向机器学习的数据标注规程.pdf
GB-T 34968-2017 地下水超采区评价导则.pdf
DB22-T 3555-2023 眩晕综合征针刺治疗规范 吉林省.pdf
DB5201-T 121-2022 惠民生鲜超市建设与管理规范 贵阳市.pdf
DB31-T 1385-2022 科技成果分类评价和价值潜力评价规范 上海市.pdf
T-ZZB 2286—2021 锦纶低弹丝油剂.pdf
T-JSJCXH T-JSJCXH4—2023 先张法预应力超高强混凝土管桩.pdf
1
/
3
13
评价文档
赞助1.5元 点击下载(1.6 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
1.5
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
享优惠, 办会员
每年仅需
99
元(可开发票 无限下载)
加客服微信扫描如下二维码 咨询
×
分享,让知识传承更久远
×
文档举报
举报原因:
×
优惠下载该文档
免费下载 微信群 欢迎您
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。