ICS35.240.50 J 07 中华人民共和国国家标准 GB/T 37959—2019 含工艺腔室类集成电路装备 设计信息模型 Information model for containing process chamber IC equipment design 2020-03-01实施 2019-08-30发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T37959—2019 目 次 前言 范围 术语和定义 缩略语 模型体系 4.1 含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计过程的一般规定 4.2含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台结构体系 5含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计信息模型 5.1概念模型 5.2 要素 5.3 关系 5.4 信息模型元素 附录A（资料性附录） 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型示例. GB/T37959—2019 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国自动化系统与集成标准化技术委员会（SAC/TC159）归口。 本标准起草单位：中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石 油规划总院 本标准主要起草人：顾明、程嘉、李丽、季林红、陈莉、曹自立、张颖、黎晓东、王海丹、王峰。 GB/T37959—2019 含工艺腔室类集成电路装备 设计信息模型 1范围 本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔 室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。 本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。 2 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 2.1 莫modeling 建模 使用CAD软件为被设计对象建立用于仿真的几何模型。 2.2 仿真simulation 利用计算机虚拟模型复现实际系统中发生的本质过程，并通过对系统虚拟模型的实验来研究存在 的或设计中的系统 2.3 仿真流程模板 simulationprocesstemplate 用于描述定制化的仿真流程信息的一种XML文件，保存了二个仿真流程的完整逻辑关系。 注：包含软件模块、求解逻辑顺序和上下游传输的变量信息 2.4 参数parameters 仿真设计过程中对结果有较显著影响的、可调节的关键设定值。 2.5 实验设计designofexperiment 一种有计划的研究，对过程要素进行一系列有意图的改变，并进行效果观测，对结果进行统计分析 以便确定效果与要素改变之间的关系，从而更好地了解和控制这一过程。 2.6 优化设计optimaldesign 以数学中的最优化理论为基础，以计算机为手段，根据设计所追求的性能目标，建立目标函数，在满 足给定的各种约束条件下，寻求最优的设计方案的过程。 2.7 特征值 characteristicvalues 由仿真结果统计出的能反映设计性能的具有代表性的某些数值。 示例：最小值、最大值、平均值、偏差值等 1 GB/T37959—2019 2.8 含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台softwareplatformofsimulationandoptimi- zation design for integrated circuit equipment with process chamber 能够满足含工艺腔室类集成电路装备企业装备研发的多学科协同设计需求，以及参数化、集成化的 优化设计需求的软件平台。 3缩略语 下列缩略语适用于本文件。 API：应用程序接口（ApplicationProgrammingInterface） CAD:计算机辅助设计（ComputerAidedDesign） IC：集成电路（IntegratedCircuit) XML：可扩展标记语言（ExtensibleMarkupLanguage） 4模型体系 4.1含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计过程的一般规定 4.1.1CAD建模 使用CAD绘图工具，为设计对象创建用于仿真的儿何模型。 4.1.2网格划分 使用仿真前处理软件，导入用于仿真的儿何模型，进行网格设置，并生成划分好的网格文件 4.1.3设置边界条件及求解器 在仿真软件中，导入划分好的网格文件，设置仿真边界条件、求解器，运行仿真计算，得到仿真结果 文件。 4.1.4仿真结果后处理 使用仿真后处理软件，导入仿真结果文件，处理后得到的某些特征值、云图等。 4.1.5其他规定 4.1.1～4.1.4只是从功能定义上对仿真设计过程做的一个划分，并非每个步骤都对应一个独立的软 件。有的软件把某些相邻步骤的功能进行了整合，例如有的仿真前处理软件同时具有CAD建模与网 格划分的功能，而有的仿真软件同时自带有后处理的功能， 每个步骤中，均可选取一些关键设置作为参数，进而根据一定的参数设置规则，建立多个参数设置 组合，用于批量仿真计算。计算完成后，通过后处理所得特征值与参数设置之间的对应关系，调整参数 值重复该流程，进而实现优化设计目标。 多个参数设置组合的建立可采用某种实验设计方法或软件，而特征值与参数设置之间关系的研究 也可使用某种优化设计方法或软件。 令操作两种方式。本标准所涉及的软件操作方式默认是指脚本命令操作。 评价一组仿真结果时，常见的技术指标有：流量分布、流速分布、温度分布、磁场分布、等离子体电子 2