ICS 17.180.99 A 60 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T29190—2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法 Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope 2012-12-31发布 2013-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 29190—2012 目 次 前言 引言 范围 规范性引用文件 2 3 术语和定义、缩略语 测量方法 要求 5 5.1 仪器要求 5. 2 环境要求 6 测量步骤 测量报告 7 附录A（规范性附录） 图像相关分析法 附录B（规范性附录） 特征点法 附录C（规范性附录) 非周期光栅法 附录D（资料性附录） 原子光栅法…· 12 附录E（资料性附录） 测量方法比较 14 参考文献 15 GB/T29190—2012 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国科学院提出并归口。 本标准由全国纳米技术标准化技术委员会（SAC/TC279）归口。 本标准起草单位：中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院。 本标准主要起草人：黄文浩、陈宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛顿、朱五林、刘一。 I GB/T29190—2012 引言 扫描探针显微镜（ScanningProbeMicroscope，以下简称SPM)是纳米科学与技术中的主要工具之 一。对于具有纳米级以至原子级分辨力的SPM,其时间稳定性与仪器的设计、操作环境和使用等密切 相关。作为SPM的重要规格参数，漂移速率的大小直接关系着SPM的使用性能。例如，无失真图像 的连续获取、样品局域物化特性的测量、样品表面动态特性的实时观测、微纳装配和操纵等。此外，漂移 速率的大小对于评价仪器也有重要指导意义。目前，许多SPM配置漂移补偿模块或闭环控制模块；尽 管漂移速率大幅降低，但漂移依然存在。因此，SPM在、和~方向漂移速率的定义和漂移速率测量 方法的规范化具有重要意义。 本标准给出了SPM在r、y和方向漂移速率的测量方法，以便于制造商在仪器规格中提供漂移 数据，帮助用户表征仪器漂移特性。 GB/T29190—2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法 1 范围 图像的漂移速率测量基本方法 本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T15000.3标准样品工作导则（3）标准样品定值的一般原则和统计方法； JJF1001通用计量术语及定义； JJF1059测量不确定度评定与表示（ISOGUM:1995，IDT）； ISO18115表面化学分析名词，第2部分：扫描探针显微镜适用术语（Surfacechemical analysisVocabularyPart2:Terms used in scanningprobe microscopy)。 5 3术语和定义、缩略语 GB/T20000.1界定的以及下列术语和定义、缩略语适用于本文件 3.1术语和定义 3.1. 1 漂移 drift SPM仪器中探针相对于样品的实际位置与设定位置的偏差。 注：所有参数设置均可能产生漂移，如工、、方向的位移，激光光斑在悬臂梁上的位置，扫描近场光学显微镜的光 源强度等。本标准中，漂移限定为、y和方向上，探针相对于样品设定位置的改变。 3.1.2 漂移速率driftrate 定时间间隔内的漂移与该时间间隔之比。 注1：时间间隔通常选定为连续扫描得到的相邻图像间的时间。 注2：漂移速率可给定为、y和方向的漂移速率，或相应矢量的合成幅值 3.1.3 设定时间 settlingtime 从选定待测量的样品区域或样品上的点开始，至漂移测量的时间间隔 注：设定时间通常选为5min~60min。 3.2缩略语 下列缩略语适用于本文件。 1