ICS13.040.35 C 70 中华人民共和国国家标准 GB/T 36066—2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用 Cleanrooms and associated controlled environments- Analysis and application of test technology 2018-07-01实施 2018-03-15发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T36066—2018 目 次 前言 范围 1 2 规范性引用文件 3 术语和定义 检测项目与相关应用领域 检测技术要求 检测仪器配置 检测工况分析 附录A（资料性附录） 压差的调试和测试 附录B（资料性附录） 自净检测 10 附录C（资料性附录） 已装过滤系统检漏 11 参考文献 15 GB/T36066—2018 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319）提出并归口。 本标准起草单位：中电投工程研究检测评定中心、苏州市计量测试研究所、深圳市亿天净化技术有 限公司、中天道成（苏州）洁净技术有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、苏州净化工程安装有限 世源希达工程技术有限公司、北京希达建设监理有限责任公司、上海德威净化设备工程有限公司、深圳 新科特种装饰工程公司、中国电子学会洁净技术分会 标准主要起草人：王尧、张利群、陈霖新、张俊峰、杨子强、蒋乃军、夏群艳、姜皓遐、张敏、高正、徐火炬、 石小雷、苏钢民、王鸿明、王大千、殷晓冬、谭军、王样、杨新宇。 GB/T36066-—2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用 1范围 本标准给出了洁净室及相关受控环境的检测要求，基本仪器配置和技术要求 本标准适用于洁净室及相关受控环境的检测技术分析与应用。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T25915.1一2010洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 单向流unidirectional airflow 通过洁净区整个断面、风速稳定、大致平行的受控气流， 注：这种气流可定向清除洁净区的粒子。 3.2 非单向流 non-unidirectionalairflow 送人洁净区的空气以诱导方式与区内空气混合的一种气流分布。 3.3 离散粒子计数器 discrete-particlecounter;DPC 可显示并记录确定体积空气中离散粒子数量和直径（可辨别粒径）的仪器 3.4 测试气溶胶 testaerosol 具有已知并受控的粒径分布及浓度的固体和（或）液体粒子的气态悬浮物。 3.5 气溶胶发生器 aerosol generator 能以加热、液压、气动、超声波、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当的（例如，0.05μm～2μm） 微粒物质的器具。 3.6 气溶胶光度计 aerosolphotometer 利用光散射原理、用前散射光腔测量空气悬浮粒子质量浓度的仪器 3.7 已装过滤系统 installed filter system 已安装在顶棚、侧墙、装置、风管上的过滤系统。 1 GB/T36066—2018 3.8 已装过滤系统检漏installedfiltersystemleakagetest 为确认过滤器安装良好，向设施内无旁路渗漏，过滤器及其安装框架均无缺陷和渗漏而进行的 检测。 3.9 扫描 scanning 让气溶胶光度计或离散粒子计数器的采样口覆盖面，以略有重叠的往复行程移过规定的检测区来 查找过滤器及其他部件渗漏的方法。 3.10 等动力采样isokinetic sampling 采样口进气气流的平均风速与该位置上单向流的平均风速相等的采样条件。 3.11 渗漏leak 过滤系统因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超过预期值。 3.12 泄漏leak 压差检测所发现围护结构的缺陷。 3.13 自净时间 cleanliness recovery characteristic 洁净室被污染后，净化空调系统开始运行到恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。 3.14 阐值粒径 thresholdsize 选定的最小粒径以测量大于或等于该粒径的粒子浓度。 4 检测项目与相关应用领域 不同应用领域的常规检测项目见表1。 表1各应用领域常规检测项目 应用领域 检测项目 电子 制药 医疗 科学实验室 实验室有要求 洁净度（ISO1级~ISO9级）/（Pc/m） V 如纳米实验室 生物安全 菌落数（包括浮游菌、沉降菌、表面微生物的控制）/CFU V V 实验室 风量Q/（m²/h） V 压差△P/Pa L I级手术室 生物安全柜 风速V/(m/s) 单向流 单向流 工作区 单向流 2