ICS 71.100.20 G 86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T146022014 代替GB/T14602—1993,GB/T24469—2009 电子工业用气体 氯化氢 Gases for electronic industry-Hydrogen chloride 2014-12-22发布 2015-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T14602—2014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准代替GB/T14602—1993《电子工业用气体氯化氢》、GB/T24469—2009《电子工业用气体5N 氯化氢》。与GB/T14602—1993、GB/T24469—2009相比，除编辑性修改外主要技术变化如下： 修改了范围（见第1章，1993年版的第1章、GB/T24469一2009的第1章）； 一修改了规范性引用文件（见第2章，1993年版的第2章，GB/T24469一2009的第2章）； 一修改了技术要求（见第3章，1993年版的第3章、GB/T24469一2009的第3章）； 一 修改了抽样、判定（见4.1，1993年版的第5章，GB/T24469一2009的第5章）； 一修改了氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法（见4.3，1993年版的4.2、4.3、 GB/T24469—2009的4.3、4.5)； 删除了氢含量的测定方法（见1993年版的4.5）； 一 修改了水分含量的测定方法（见4.4，1993年版的4.4、GB/T244692009的4.4）； 修改了金属元素含量的测定方法（见4.5，GB/T24469—2009的4.6）； 修改了标志、包装、贮运及安全（见第5章，1993年版的第6章、第7章、GB/T24469一2009的 第6章、第7章、第8章）。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位：北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华 特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限 公司。 本标准主要起草人：张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： —GB/T14602—1993.GB/T24469—2009。 1 GB/T14602—2014 电子工业用气体 氯化氢 1范围 本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。 本标准适用于以工业氯化氢为原料，采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中 气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研 究等领域。 分子式：HCI。 相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB 5099 钢质无缝气瓶 GB/T5832.3气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 气瓶颜色标志 GB 7144 GB 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 16804 气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726—2012气体分析 厂氮离子化气相色谱法 气瓶安全监察规程（2000版） 危险化学品安全管理条例（2002版） 特种设备安全监察条例（2009版） 3 技术要求 氯化氢的技术要求应符合表1的要求。 表1技术指标 项目 指标 氯化氢纯度（体积分数）/10-2 666'66 966666 氧+氩（O+Ar)含量（体积分数）/10-6 < 1.0 0.5 氮（Nz）含量（体积分数）/10-6 2.0 2.0 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10- 2.0 1.0 1 GB/T14602—2014 表1 (续) 项目 指标 氧化碳（CO)含量（体积分数）/10-6 1.0 0.5 烃（CH+C，H2）含量（体积分数）/10-6 1.0 0.5 > 水分（H,O）含量（体积分数）/10-6 1.0 0.5 总杂质含量（体积分数）/10-6 5 铁(Fe）含量/（mg/L) 0.5 0.1 其他金属元素（锰、钴、锌、铜、铬、镍）含量/（mg/L） 0.1 0.1 颗粒 供需双方商定 供需双方商定 4试验方法 4.1 抽样、判定 4.1.1 氯化氢产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该 产品不合格。 4.1.2氯化氢采样安全应符合GB/T3723的相关规定。 4.2 氯化氢纯度 4.2.1 总杂质含量Φ，按式(1)计算： Φ,=Φ+Φ+Φ+Φ+Φ+Φ .(1) 式中： 氧十氩含量（体积分数），10-； Φ 氮含量（体积分数），10-6； Φ: 二氧化碳含量（体积分数），10-； 一氧化碳CO含量（体积分数），10-6； Φ; 烃含量（体积分数），10-6； 水分含量（体积分数），10-。 4.2.2 氯化氢纯度按式（2)计算： Φ=100 —Φ, × 10-4 ...(2) 式中： Φ 氯化氢纯度（体积分数），10-2 4.3 氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定 按GB/T28726一2012规定的预切割（除）进样的方法测定氯化氢中的氧十氩、氮、一氧化碳、二氧 化碳、烃（CH、C,H²)含量。 预切割（除）柱：柱长约2.0m，内径约为2mm的Monel400合金柱，内装粒径为0.18mm~ 0.25mm的PorapakQ，或其他等效色谱柱。 色谱柱I：柱长约2m、内径约2mm的Monel400合金柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A 分子筛，或其他等效色谱柱。该柱用于分析氧十氩、氮、一氧化碳含量。 2 GB/T14602—2014 色谱柱Il：柱长约2m、内径约2mm的Monel400合金柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的 HayesepQ，或其他等效色谱柱。该柱用于分析二氧化碳、烃(CH4，C,H）含量 气体标准样品：组分含量的体积分数为1X10-6～5×10-，平衡气为氮。 允许采用其他等效的方法测定氯化氢中的氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃（CH,、CzH2）含量。 当以上测定结果有异议时，本标准规定的方法为仲裁方法。 4.4水分含量的测定 按GB/T5832.3的规定执行。允许采用其他等效的方法测定氯化氢中的水含量。当测定结果有 异议时，GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法 4.5 铁以及其他金属元素含量的测定 4.5.1仪器 采用电感耦合等离子质谱法测定氯化氢中的锰、钻、锌、铜、铬、镍等金属元素的含量。 检测限：不大于0.01（mg/L）； 天平：感量0.01g； 吸收系统； 金属元素标准溶液：标准溶液中金属元素的含量应当与被测试样中所对应的含量相近 4.5.2测定条件 氯化氢吸收量：不大于5g； 去离子水：不大于50mL； 高纯氮：20mL/min。 4.5.3样品吸收 吸收装置图参见附录A。 在吸收系统中准确放入50.00mL去离子水。 准确称量吸收系统（洗气瓶+吸收瓶十缓冲瓶）的初始质量m1。 将氯化氢样品缓慢通过吸收系统，当氯化氢吸收量大于5g时，停止吸收。开启高纯氮瓶阀置换管 路1min，停止通气。准确称量吸收系统的终止质量m2。吸收系统中的溶液为测定金属元素用样品 溶液。 4.5.4测定步骤 4.5.4.1启动仪器 按电感耦合等离子质谱仪（ICP-MS）说明书开启仪器，调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定 后即可测定。 4.5.4.2测定 4.5.4.2.1标准样品的测定 用金属元素标准溶液进样。记录标准溶液中金属元素吸收峰的吸光度信号。每种标准溶液至少重 复进样两次，直至两次平行测定的相对偏差不大于5%，取平均值。 3