ICS 25.180.10 K 61 中华人民共和国国家标准 GB/T 10067.416—2019 电热和电磁处理装置基本技术条件 第416部分：多晶硅铸锭炉 Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installations- Part 416:Polysilicon ingot furnace 2020-03-01实施 2019-08-30发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 10067.416—2019 目 次 前言 I 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 产品分类 4 5 技术要求 6 试验方法 7 检验规则 标志、包装、运输和贮存 8 6 订购与供货 GB/T 10067.416—2019 前言 GB/T10067《电热和电磁处理装置基本技术条件》分为以下部分： 第1部分：通用部分； 第2部分：电弧加热装置； 一第21部分：大型交流电弧炉； 第3部分：感应电热装置； 第31部分：中频无心感应炉； 一第32部分：电压型变频多台中频无心感应炉成套装置； 第33部分：工频无心感应熔铜炉； 第34部分：晶体管式高频感应加热装置： 第35部分：中频真空感应熔炼炉； 第4部分：间接电阻炉； 第41部分：网带式电阻加热机组； 第42部分：推送式电阻加热机组； 第43部分：强迫对流井式电阻炉； 第44部分：箱式电阻炉； 第45部分：真空淬火炉； 第46部分：罩式电阻炉； 第47部分：真空热处理和钎焊炉； 第48部分：台车式电阻炉； 第49部分：自然对流井式电阻炉； 第410部分：单晶炉； 第411部分：电热浴炉； 第412部分：箱式淬火炉； 第413部分：实验用电阻炉； 第414部分：工业宝石炉； 第415部分：铝材退火炉； 第416部分：多晶硅铸锭炉； 一第5部分：高频介质加热设备； 第8部分：电渣重熔炉。 本部分为GB/T10067的第416部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分由中国电器工业协会提出。 本部分由全国工业电热设备标准化技术委员会（SAC/TC121）归口。 本部分起草单位：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司、西安电炉研究所有限公司、成都超迈光电 科技有限公司、江苏星特亮科技有限公司、常州市乐萌压力容器有限公司、国家电炉质量监督检验中心。 本部分主要起草人：李留臣、李琨、张松林、周正星、潘燕萍、黄晓军、张永武、徐海波、束天和。 GB/T10067.416—2019 电热和电磁处理装置基本技术条件 第416部分：多晶硅铸锭炉 1范围 GB/T10067的本部分规定了多晶硅铸锭炉（以下简称多晶炉）的术语和定义、产品分类、技术要 求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。 本部分适用于定向凝固生长太阳能级多晶硅锭的多晶炉。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T150—2011（所有部分）压力容器 GB/T2900.23—2008电工术语工业电热装置 GB3095—2012环境空气质量标准 GB8978—1996污水综合排放标准 GB/T10066.1一2019电热和电磁处理装置的试验方法第1部分：通用部分 GB/T10066.4一2004电热设备的试验方法第4部分：间接电阻炉 GB/T10067.12019 电热和电磁处理装置的基本技术条件第1部分：通用部分 GB/T10067.4—2005电热装置基本技术条件第4部分：间接电阻炉 GB12348一2008工业企业厂界环境噪声排放标准 GB162971996 大气污染物综合排放标准 JB/T9691—1999电热设备产品型号编制方法 3术语和定义 GB/T2900.23—2008，GB/T10066.4—2004界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 多晶炉polysiliconingotfurnace 利用多晶硅定向凝固技术生产用于太阳能级多晶硅锭的一种工业电热设备。 3.2 工作室尺寸dimensions of workingchamber 多晶炉设计时规定并在图纸上标明的晶体生长室的空间尺寸。 注：工作室尺寸用内径和高度表示。 3.3 熔料量charge 多晶炉设计时规定的每炉次一次最大的装料量。 1 GB/T10067.416—2019 3.4 工作温度 workingtemperature 多晶炉设计时规定的多晶硅材料熔化及长晶等过程中允许使用的温度范围。 3.5 最高加热温度 maximum temperature 多晶炉设计时规定的能够满足对加热系统进行预先熳烧处理目的而需达到的加热温度。 4产品分类 4.1 多晶炉产品的型号应按JB/T9691一1999编制。 4.2 2多晶炉按其工作室尺寸或铸锭的规格进行分类： a） 按工作室内径尺寸（单位为厘米）分为多个品种； b) 按照铸锭的规格分为多个品种（通常以此分类方法为主）： 1）G5多晶炉； 2）G6多晶炉； 3）G7多晶炉。 3在多晶炉的产品标准中应按GB/T10067.1-2019中第4章的规定进一步按产品的结构类型、气 4.3 氛、最高工作温度等进行分类。 4.4 4在具体产品标准中对各个型号的多晶炉应分别列出以下各项参数： a) 电源电压，V； b) 电源频率，Hz； c) 相数； d) 晶锭规格，mm； e) 熔料量，kg； f) 工作室尺寸，mm； g) 额定功率，kW； h) 工作温度，℃； i) 最高加热温度，℃； j) 工作电压，V； k) 极限真空度,Pa； 1) 压升率，Pa/h； m) 空炉抽空时间，h； n) 气体耗量，L/h； o) 水流量，m/h； 主机质量，t； p) (b 主机外形尺寸，mm。 5 技术要求 5.1 1一般技术要求 多晶炉的技术要求应符合GB/T10067.4一2005中第5章的规定。 2