ICS 29.045 H83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30652—2014 硅外延用三氯氢硅 Trichlorosilane for silicon epitaxial 2014-12-31发布 2015-09-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T30652—2014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）和全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。 本标准起草单位：中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司。 本标准主要起草人：柯尊斌、刘新军、郑华荣、谭卫东、金龙 I GB/T30652—2014 硅外延用三氯氢硅 1范围 本标准规定了硅外延用三氯氢硅（SiHC1.）的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、 质量证明书以及订货单（或合同）内容 本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T 191 包装储运图示标志 GB16483化学品安全技术说明书内容和项目顺序 GB28654工业三氯氢硅 GB/T29056硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钻、镍、铜、钼、砷和锑量 的测定电感耦合等离子体质谱法 YS/T987氯硅烷中碳杂质的测定方法甲基二氯氢硅的测定 国务院令第591号危险化学品安全管理条例 3要求 3.1外观 产品应为无色透明液体。 3.2 化学成分 3.2.1 产品的化学成分应符合表1的规定 表1化学成分 % SiHCl3 其他氯硅烷 杂质含量/（×10-1），不大于 不小于 不大于 Fe Cr Ni Al Mo Sb Mn B Cu As Co V C 99.95 0.05 1.5 0.5 0.5 0.3 0.2 0.1 0.05 0.02 0.01 5000 注：硅外延用三氯氢硅的含量为100%减去表中其他氯硅烷和杂质实测总和的余量 3.3其他 需方如对硅外延用三氯氢硅有其他要求时，由供需双方商定。 GB/T306522014 4试验方法 4.1外观 外观用目视的方法检查。 4.2化学成分 4.2.1三氯氢硅及其他氯硅烷含量的测定按GB28654的规定进行。 4.2.2铁、铬、镍、铝、钼、砷、锑、磷、锰、硼、铜、钻、钒含量的测定按GB/T29056的规定进行。 4.2.3碳含量的测定按YS/T987的规定进行。 5检验规则 5.1# 检验和验收 5.1.1产品应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准及合同（或订货单）的规定，并 填写质量证明书。 不符时，应在收到产品之日起30日内，以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决，如需仲裁，仲裁取 样和检测由供需双方共同委托仲裁机构进行。 5.2组批 5.3取样 产品应在不被沾污的情况下，对每个包装单位进行取样，取样量不少于200mL。 5.4检验结果的判定 5.4.1外观的检验结果不合格时，则判该批产品不合格 5.4.2化学成分的检验结果若有一项不合格，允许在同批产品中加倍取样进行重复试验。重复试验结 果如仍有一项不合格，则判该批产品不合格。 6 标志、包装、运输、贮存及质量证明书 6.1标志 6.1.1 包装标志 产品的包装上应注明： a） 供方名称； b）商标； c) 产品名称； 批号； e) 净重； 2 GB/T30652—2014 f) 执行标准； g) 生产日期； 保质期； h) i) 符合GB/T191规定的包装储运图示标志。 6.1.2 禁示标志 产品的禁示标志应符合GB190的规定。 6.2 2包装 产品应采用不锈钢瓶包装（纯度≥99.999%的高纯氮气保护）。每瓶净含量为40kg、250kg、 1 000 kg. 6.3运输、贮存 6.3.1产品的运输和贮存应符合国务院令第591号《危险化学品安全管理条例》。 6.3.3产品应贮存在通风、阴凉、干燥的库房内，在符合上述储运条件下，产品保质期自生产之日起为 一年。 6.4J 质量证明书 每批产品应附有质量证明书，其上注明： a) 供方名称、地址、电话、传真； 产品名称； c) 批号； d) 钢瓶号及钢瓶净重； 三氯氢硅净重； e) f) 各项分析检验结果和技术监督部门印记； g) 本标准编号； 生产日期。 h) 6.5 安全使用说明书 出厂产品应按GB16483规定提供化学品安全说明书。 订货单（或合同）内容 本标准所列产品的订货单（或合同）应包括下列内容： 产品名称； a) 化学成分（杂质含量)等特殊要求； c) 净重； d) 本标准编号； 其他。 e)