ICS 71. 100. 20 G 86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 26249—2010 硒化氢 电子工业用气体 Gases for electronic industryHydrogen selenide 2011-01-14发布 2011-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T26249—2010 前言 本标准的附录A和附录B为规范性附录。附录C为资料性附录。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出。 本标准起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河 北保定市北方特种气体有限公司。 本标准主要起草人：周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、周鹏云、徐少兵、 GB/T26249—2010 电子工业用气体 硒化氢 1范围 本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全， 本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢 产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。 分子式：H,Se。 相对分子质量：80.97588（按2007年国际相对原子质量计算）。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.1气体中湿度的测定 第1部分：电解法 GB7144气瓶颜色标志 GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 GB/T11640铝合金无缝气瓶 GB14193 液化气体气瓶充装规定 GB/T26571 特种气体储存期规范 《气瓶安全监察规程》（国家质量监督检验检疫总局发布，2000年） 技术要求 硒化氢的技术要求应符合表1的规定。 表1技术指标 项 目 指 标 硒化氢（HzSe)纯度（体积分数）/10-2 6666 氢（H2）含量（体积分数）/10-6 20 氧+氩（O2十Ar)含量（体积分数）/10-6 10 氮（N2）含量（体积分数）/10-5 20 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10- 10 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 10 总烃（以甲烷计）含量（体积分数）/10-6 10 硫化氢（H,S)含量（体积分数)/10-6 10 水（H,O)含量（体积分数）/10-6 10 1 GB/T26249—2010 4试验方法 4.1检验规则 4.1.1硒化氢产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该 产品不合格 4.1.2硒化氢采样安全应符合GB/T3723的相关规定。 4.2硒化氢纯度 硒化氢纯度按式(1)计算： Φ=100-+++Φ+Φ+++Φ×10-4 .(1) 式中： @——硒化氢纯度（体积分数），10-2； 氢含量（体积分数），10-6： Φ2 氧十氩含量（体积分数），10-6； 氮含量（体积分数），10-6； 一氧化碳含量（体积分数），10-； 二氧化碳含量（体积分数），10-6； 总烃含量（体积分数），10-； 硫化氢含量（体积分数），10-6； Φ——水含量（体积分数），10-。 4.3放空 测定硒化氢中的杂质含量时，应对放空的硒化氢试样进行处理，推荐采用活性炭和稀碱溶液进行吸 收中和。 4.4氢、氧+氩、氮的测定 4.4.1氢、氧十氩、氮的测定见附录A。 4.4.2允许采用其他等效的方法测定硒化氢中的氢、氧十氩、氮含量。当对测定结果有异议时，以本标 准4.4.1规定的方法为仲裁方法 4.5一氧化碳、二氧化碳、总烃（以甲烷计）的测定 按GB/T8984规定并采用预切割技术测定硒化氢中的微量一氧化碳、二氧化碳和总烃含量。 预分离柱：长约2.5m，内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的PorapakQS， 色谱柱在180℃通载气活化约2h。或其他等效色谱柱。 允许采用其他等效的方法测定硒化氢中的微量一氧化碳、二氧化碳和总烃含量。当对测定结果有 异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。 气体标准样品：组分含量（体积分数）为1×10-6~10×10-6，其平衡气为氮， 4.6硫化氢含量的测定 4.6.1硫化氢的测定见附录B。 4.6.1规定的方法为仲裁方法。 4.7水分含量的测定 按GB/T5832.1执行。 仪器检测限：0.1×10-6（体积分数）。 允许采用其他等效的方法测定硒化氢中水分含量。当对测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定 的方法为仲裁方法。 2 GB/T26249—2010 5包装、标志、购运及安全 5.1包装、标志及购运 5.1.1硒化氢的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》的相关规定。 5.1.3推荐使用经过内表面处理的气瓶。推荐使用CGA350瓶阀。 5.1. 4 ，应防正瓶口被污染和泄漏。 5. 1.5 硒化氢的充装应符合GB14193的相关规定。 5.1.6 气瓶颜色标志应符合GB7144的规定。 5.1.7运输时，硒化氢气瓶上应附有GB190中指定的标志。 5.1.8 包装容器上应标明“电子硒化氢”字样。 5. 1. 9 瓶装硒化氢的最大充装量按式（2）计算； m=F,.V .(2) 式中： m—气瓶内硒化氢的质量，单位为千克（kg）； V—气瓶标明的内容积，单位为升（L)； F,——硒化氢的充装系数，1.5kg/L。 5. 1. 10 硒化氢的充装量按实际称量的质量计。 5. 1. 11 硒化氢的保存期限按GB/T26571规定执行。 5.1.12 硒化氢出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括： 一产品名称，生产厂名称； 一生产日期或批号，充装质量（kg）； 一本标准号及技术指标，检验员号。 5.1.13硒化氢产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁暴晒，远离热源。 5.2安全警示 5.2.1硒化氢在常温常压下为具有令人不愉快臭味的无色有毒气体，在干燥空气中稳定，于160℃分 解成H，和Se；在潮湿空气中可分解成硒：在空气中燃烧时发出青色火焰，并生成SeO2白色粉末：如果 空气供给不充分，则析出单体硒；与硝酸激烈反应，也和氧化物猛烈反应，且有火灾及爆炸的危险；与烷 基卤化物形成复盐；能与橡胶中的硫磺作用使橡胶变质；自催化性强，一且分解形成金属覆盖膜，则急速 分解，所以硒化氢的容器、管道的内表面应清洁平滑；能溶于水、二硫化碳和光气；溶于水形成水合物，水 溶液呈弱酸性；在水溶液中与硫磺反应生成硫化氢与硒。 5.2.2与硒化氢接触时，不应使用明火、不应有火花和不应吸烟；不应与高温表面接触；若发生火灾，应 切断气源，如对周围环境无危险，让火自行燃烧完全。其他情况用干粉、二氧化碳灭火 5.2.3时间加权平均接触限值：0.3X10-‘（体积分数）。短期接触限值：1×10-（体积分数）。最高容 许含量：0.1×10-6（体积分数），0.14mg/m。 时间加权平均接触限值：正常8h工作日或40h工作周的时间加权平均含量。 短期接触限值：每次接触时间不得超过15min的时间加权平均接触限值。 5.2.4硒化氢吸人体内将造成伤害。硒化氢对上呼吸道粘膜和眼结膜有强烈的刺激作用。接触数分 钟至3h内，陆续出现中毒症状：流泪、咽喉痛、咳嗽、伴有胸闷、胸痛。重者进一步发展为化学性肺炎或 中毒性肺水肿，患者出现呼吸困难，心跳加快，面色苍白，皮肤粘膜紫。 5.2.5长期接触硒化氢可引起角膜坏死，皮肤烧伤，皮炎等症状 5.2.6冻伤时应用大量水冲洗，不应脱去衣物，应及时治疗 5.2.7泄漏时，应迅速撤离泄露污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽。切断火源、气源。用稀碱 3