ICS 71.100.20 CCS G 86 中华人民共和国国家标准 GB/T 40418—2021 电子特气 氟甲烷 Electronic specialtygasFluoromethane 2022-03-01实施 2021-08-20发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T 40418—2021 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。 本文件起草单位：浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体 有限公司、衢州氟硅技术研究院、中化蓝天氟材料有限公司、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体 股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、 上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、天连天特气体有限公司、上海凡伟仪器 设备有限公司、联雄投资（上海）有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限 公司、和立气体（上海）有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西 南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。 本文件主要起草人：史婉君、张建君、方小青、孙福楠、付梦月、侯玲玲、郑秋艳、董云海、谭慧、 褚人财、颜光清、何经余、曹素英、傅铸红、陈艳珊、马建修、程紧、叶相平、王新喜、孙猛、陈洁、吴靓、方华、 孙赞珑、何波、黄小强、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、吴克安、白占旗、徐娇、 叶树全、赖晓峰、方艾黎、周鹏云、张亮。 SAC 1 GB/T 40418—2021 电子特气氟甲烷 1范围 本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。 本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。 规范性引用文件 2 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于 本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 601 化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T 603 化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶 GB/T 5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法 GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T 16804 气瓶警示标签 GB/T 28726 气体分析氮离子化气相色谱法 GB/T33145 大容积钢质无缝气瓶 TSGR0005 移动式压力容器安全技术监察规程 TSG23 气瓶安全技术规程 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 氟甲烷的技术要求应符合表1的规定 1 GB/T40418—2021 表1# 技术要求 项目 指标 氟甲烷（CHF)纯度（质量分数）/10-2 ≥99.999 （氧+氩）（O2+Ar）含量（质量分数）/10-6 <2 氮（N2）含量（质量分数）/10-6 <4 二氧化碳（CO2）含量（质量分数）/10- <2 其他有机化合物（三氟甲烷、乙烷、乙烯）含量（质量分数）/10一6 <5 水（H,O)含量（质量分数）/10-6 <2 酸度（以HF计)（质量分数)/10-6 <0.1 杂质总含量（质量分数）/10-6 10 颗粒 供需双方商定 5试验方法 警示：本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和健康防护措施。 5.1一般规定 试验方法所用试剂和水在没有注明其他要求时，均指确认为分析纯的试剂和GB/T6682中规定的 三级水。试验方法所用标准溶液、制剂及制品，在没有注明其他要求时，均按GB/T601、GB/T603的 规定制备。 5.2 氟甲烷纯度 5.2.1 杂质总含量 杂质总含量按式（1)计算： .....(1) 式中： Φ1———（氧十氩）含量（质量分数）,10-6 Φ2 氮含量（质量分数），10-； 二氧化碳含量（质量分数），10-6； Φ一其他有机化合物含量（质量分数），10-°； Φs———水含量（质量分数）,10-6； 酸度（质量分数），10-6； 杂质总含量（质量分数），10-6。 5.2.2 氟甲烷纯度 氟甲烷纯度按式（2)计算： =100-Φ×10-4 ......(2) 2 GB/T 40418—2021 式中： ——氟甲烷纯度（质量分数），10-2。 5.3氧十氩、氮、二氧化碳、其他有机化合物含量的测定 5.3.1测定方法 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定氟甲烷中的氧十氩、氮、二氧化碳、其他有机化合物 含量。 允许采用其他等效的方法测定氟甲烷中的氧十氩、氮、二氧化碳、其他有机化合物含量。当测定结 果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法。 5.3.2预分离柱 长约0.6m，内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的CST（一种改性碳分子 筛)，或其他等效色谱柱。 5.3.3色谱柱 色谱柱I：长约2m、内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子筛，或其 他等效色谱柱。该柱用于测定氧十氩、氮含量。 色谱柱Ⅱ：长约4m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的HayesepQ（一 种高分子聚合物），或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳含量。 色谱柱Ⅲ：长约60m、内径0.32mm、内涂聚GASPRO(一种键合硅胶）的毛细柱，或其他等效色谱 柱。该柱用于测定其他有机化合物含量。 5.3.4标准样品 组分含量（质量分数）为（1～5）X10-6，平衡气为氮。 5.4水含量的测定 按GB/T5832.1的规定执行。 允许采用其他等效的方法测定氟甲烷中水分含量。当测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的 方法为仲裁方法。 5.5酸度（以HF计）的测定 5.5.1方法提要 使试样气化，鼓泡进入盛有水的多孔式气体洗瓶中，吸收样品中的酸性物质，以漠甲酚绿为指示剂 用氢氧化钠标准滴定溶液滴定，计算得到酸度（以HF计）。 5.5.2试剂、溶液 5.5.2.1氢氧化钠标准滴定溶液：c（NaOH）=0.01mol/L。 5.5.2.2溴甲酚绿指示液：5g/L。 5.5.3仪器、设备 5.5.3.1 取样钢瓶：316L不锈钢材质，500mL或1000mL。 3