文库搜索
切换导航
首页
频道
安全标准
安全报告
安全文档
首页
安全标准
安全报告
安全文档
批量下载
使用说明
官方交流群
会员登录
ICS 81.040.30 Q 35 中华人民共和国国家标准 GB/T 34177—2017 光刻用石英玻璃晶圆 Quartz glass wafer for lithography 2018-08-01实施 2017-09-07发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 34177—2017 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。 本标准起草单位:中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶 光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心。 杨学东、孔敏、张应语。 SZG 229 1 GB/T34177—2017 光刻用石英玻璃晶圆 1范围 本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、 检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光 刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T3284—2015石英玻璃化学成分分析方法 GB/T5949透明石英玻璃气泡、气线试验方法 GB/T32189氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 JC/T185光学石英玻璃 JC/T655石英玻璃制品内应力检验方法 JC/T2205 5石英玻璃术语 3术语和定义 JC/T2205界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 总厚度变化 totalthicknessvariationTTV 石英玻璃晶圆厚度的最大值和最小值间的差 3.2 平整度flatness 石英玻璃晶圆一个表面为理想平面时,例如,石英玻璃晶圆一个表面由真空吸盘吸附在一个理想、 平坦的吸盘上,其另一表面相对于规定的基准面的偏差,以测量范围内总的示值读数(TIR表示。 3.3 弯曲度bow 自由无夹持的石英玻璃晶圆中位面的中心点与中位面基准平面间的偏离。 注:中位面基准平面是由指定的圆周上的三个等距离点决定的平面,该圆周的直径小于石英玻璃晶圆标称直径。 3.4 翘曲度warp 自由无夹持的石英玻璃晶圆中位面相对于参照平面的最大和最小距离之差。 1 GB/T 34177—2017 4分类 石英玻璃晶圆按纯度分为高纯石英玻璃晶圆(GC)和普通石英玻璃晶圆(PT)。 5要求 5.1 规格尺寸及尺寸偏差 5.1.1石英玻璃晶圆的形状如图1a)和图1b)所示,常规直径为50.80mm、76.20mm、100.00mm、 125.00mm、150.00mm、200.00mm、300.00mm。直径偏差应不超过±0.25mm。 a) 带定位直边的石英玻璃晶圆外形示意图 5mm 1. 00 mm*B- 25 nm 91.06- b)带定位角的石英玻璃晶圆外形示意图 说明: 一质量区; 1- 2 非质量区; 石英玻璃晶圆直径; a 石英玻璃晶圆定位直边长度。 图1石英玻璃晶圆外形示意图 2
GB-T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆
安全标准
>
国标
>
文档预览
中文文档
11 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
0 收藏
3.0分
赞助1.5元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共11页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助1.5元下载
本文档由
思安
于
2023-01-22 17:30:38
上传分享
举报
下载
原文档
(1.3 MB)
分享
给文档打分
您好可以输入
255
个字符
网站域名是多少( 答案:
github5.com
)
评论列表
暂时还没有评论,期待您的金玉良言
热门文档
GB-T 35651-2017 突发事件应急标绘图层规范.pdf
DB11-T 1190.1-2015 古建筑结构安全性鉴定技术规范 第1部分:木结构 北京市.pdf
GB-T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯.pdf
GB-T 34346-2017 基于风险的油气管道安全隐患分级导则.pdf
GB 29440-2012 炭黑单位产品能源消耗限额.pdf
GB-T 30297-2013 氯碱工业用全氟离子交换膜 应用规范.pdf
GB-T 5462-2015 工业盐.pdf
GB-T 14560-2016 履带起重机.pdf
GB 9706.271-2022 医用电气设备 第2-71部分:功能性近红外光谱(NIRS)设备的基本安全和基本性能专用要求.pdf
GB-T 38129-2019智能工厂安全控制要求.pdf
T-CADERM 2001—2018 胸痛中心 标准版 建设与评估标准.pdf
GA 1800.1-2021 电力系统治安反恐防范要求 第1部分:电网企业.pdf
DB31-T 367-2022 黄浦江游览船及码头运营设施与服务质量要求 上海市.pdf
T-NIFA 22—2023 金融数据安全应急响应和处置指引.pdf
GB-T 15114-2023 铝合金压铸件.pdf
GB-T 18250-2015 建筑幕墙层间变形性能分级及检测方法.pdf
中国移动 中移链DDC白皮书 2022 .pdf
T-ZZB 2678—2022 高寿命汽车散热器电动风扇总成.pdf
JR-T 0002-2016 银行卡自动柜员机(ATM)终端技术规范.pdf
T-SZSWA 007—2022 困境儿童关爱社会工作服务指南.pdf
1
/
3
11
评价文档
赞助1.5元 点击下载(1.3 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
1.5
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
享优惠, 办会员
每年仅需
99
元(可开发票 无限下载)
加客服微信扫描如下二维码 咨询
×
分享,让知识传承更久远
×
文档举报
举报原因:
×
优惠下载该文档
免费下载 微信群 欢迎您
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。