ICS 25.040.99 J 11 备案号：36353-2013 吉 林 DB22 省 地 方 标 准 DB 22/T 1522—2011 300mm～500mm 口径光学元件精密磨削机床 精度 Precision of aperture for 300mm～500mm optical component precise grinding machines 2012 - 04 - 01 发布 吉林省质量技术监督局 2012 - 05 - 01 实施 发 布 DB22/T 1522—2011 前 言 本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 本标准由吉林省工业和信息化厅提出。 本标准由吉林省军工民用产品标准化专业技术委员会归口。 本标准起草单位：中国兵器工业集团第五五研究所。 本标准主要起草人： 吴焕、张维杰、郭波、修冬、王大森、张亚琴、聂凤明、卢政宇、吴庆堂、 康战、刘振栓。 I DB22/T 1522—2011 300mm～500mm 口径光学元件精密磨削机床 精度 1 范围 本标准规定了 300 mm～500 mm 口径光学元件精密磨削机床的结构精度和工作精度及检验方法。 本标准适用于对直径 Ф300 mm～Ф500 mm 的圆形光学元件或对角线长度 300 mm～500 mm 的方形光 学元件进行轴对称非球面加工的精密磨削机床。 本标准仅用于机床的精度检验，不适用于机床的运转检查（如振动、不正常的噪声、运转部件的爬 行等） ，也不适用于机床的参数检查（如速度、进给量等） ，这些检查应在精度检验前进行。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 17421.1-1998 机床检验通则 第 1 部分：在无负荷或精加工条件下机床的几何精度 GB/T 17421.2-2000 机床检验通则 第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定 3 一般要求 3.1 本标准中所有线性尺寸、偏差和相应允差的单位为毫米（mm），角度偏差和相应的允差一般用比 值表示，但在有些情况下为了清晰，可用微弧度（µrad）或秒（〞）表示。其换算关系见下式： -6 0.010/1000=10×10 =10µrad≈2〞 3.2 300 mm～500 mm 口径光学元件精密磨削机床安装在用户车间的指定地基上，地基应与四周隔开， 避免传播振动和热源。 3.3 参照 GB/T 17421.1-1998 中 3.1 调整机床安装水平，水平仪在纵向和横向的读数均不超过 0.020 mm/1000 mm。 3.4 机床精度检验时，环境温度应保持在 20 ℃± 2℃内，机床和检具在测量环境中放置足够长时间 （不宜少于 12 h），以确保检验前达到稳定状态。 3.5 本标准所给出的检验项目的顺序并不表示实际检验顺序。为了装拆检验工具和检验方便，可按任 意次序进行检验。 3.6 工作精度检验时，试件的检验应在精磨后进行。 3.7 本标准结构精度检验项目结构简图如图 1，主要由床身、X 导轨、Y 导轨、转台轴、工件主轴和砂 轮轴构成，其中 X 导轨、Y 导轨、转台轴、工件主轴和砂轮轴均采用静压技术。 1 DB22/T 1522—2011 图1 3.8 当实测长度与本标准规定的长度不同时，允差应根据 GB/T 17421.1 中 2.3.1.1 规定，按能够测量 的长度折算。折算结果小于 0.001 mm 时，仍按 0.001 mm 计。 3.9 本标准所规定的检验工具仅为举例，可以使用相同指示量和具有至少相同精度的更高分辨率检验 工具。 3.10 当软件设备能补偿某些检验项目偏差时，可以按照制造厂和用户的协议，可在使用或不使用这些 补偿的情况下进行相关项目的检验，当使用软件补偿时，应在检验结果中注明。 3.11 4 根据制造厂和用户的协议，检验项目可以增减。 结构精度要求 4.1 X 导轨在 XY 垂直平面和 XY 水平面内的直线度要求均为 0.003 mm/300 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 1 内容所示。 4.2 Y 导轨在 XY 垂直平面和 XY 水平面内的直线度要求均为 0.003 mm/300 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 2 内容所示。 4.3 X 导轨运动方向与 Y 导轨运动方向的垂直度要求为 0.005 mm/300 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 3 内容所示。 4.4 工件主轴的轴向窜动要求为 0.003 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 4 内容所示。 4.5 工件主轴的径向跳动要求为 0.003 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 5 内容所示。 4.6 工件主轴轴线和 X 导轨的平行度要求： a) 上母线平行度为 0.005 mm/300 mm； b) 侧母线平行度为 0.005 mm/300 mm； 检验工具及方法见附表A序号6内容所示。 2 DB22/T 1522—2011 4.7 砂轮轴的轴向窜动要求为 0.003 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 7 内容所示。 4.8 砂轮轴锥面的径向跳动要求为 0.003 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 8 内容所示。 4.9 转台轴的轴向窜动要求为 0.003 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 9 内容所示。 4.10 转台轴的径向跳动要求为 0.003 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 10 内容所示。 4.11 转台轴轴线与 Y 导轨运动方向的垂直度要求为 0.005 mm/300 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 11 内容所示。 4.12 工件主轴轴线和砂轮轴轴线与床身平面的等距度要求为 0.005 mm，检验工具及方法见附表 A 序 号 12 内容所示。 4.13 直线运动坐标 X、Y 导轨的定位精度要求为 0.005 mm/300 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 13 内容所示。 4.14 直线运动坐标 X、Y 导轨的重复定位精度要求为 0.003 mm，检验工具及方法见附表 A 序号 14 内 容所示。 5 工作精度要求 5.1 平面光学元件面形精度要求为 0.008 mm。 以材质为 K9，尺寸为 330 mm×330 mm 的方形光学元件为例，进行平面面形磨削，检验工具及方 法见附表 B 序号 1 内容所示。 5.2 轴对称非球面光学元件面形精度要求为 0.008 mm。 以材质为 K9，工件尺寸 330 mm×330 mm 的方形光学元件为例，进行轴对称非球面面形磨削，检 验工具及方法见附表 B 序号 2 内容所示。 5.3 光学元件表面粗糙度 Ra 最大允许值为 0.4 µm。 以材质为 K9，工件尺寸 330 mm×330 mm 的方形光学元件为例，进行精磨，表面粗糙度 Ra 最大 允许值为 0.4 µm，检验工具及方法见附表 B 序号 A 3 内容所示。 3 DB22/T 1522—2011 附 录 A （规范性附录） 结构精度要求及检验 序号 简图 1 检验项目 X 导轨直线度： a.在 XY 垂直平面内； b.在 XY 水平面内。 允差 检验工具 a 及 b： 电感测微仪、平 0.003 mm/300 mm 尺或光学方法。 检验方法 参照 GB/T 17421.1-98 有关条文和备 注： 5.2.1.1； 5.2.3； 5.2.3.1.2； 5.2.3.2.1； 5.2.3.3.1。 a. b. 1 DB22/T 1522—2011 序号 简图 2 检验项目 Y 导轨直线度： a）在 XY 垂直平面内 b）在 XY 水平面内 允差 检验工具 a 及 b： 电感测微仪、平 0.003 mm/300 mm 尺或光学方法。 检验方法 参照 GB/T 17421.1-98 有关条文和备 注： 5.2.1.1； 5.2.3； 5.2.3.1.2； 5.2.3.2.1； 5.2.3.3.1。 a. b. 2 DB22/T 1522—2011 序号 3 简图 检验项目 允差 X 导轨运动方向与 Y 导轨 0.005 mm/300 mm 运动方向的垂直度 检验工具 方尺、平板或角 尺和电 感测微 仪。 检验方法 参照 GB/T 17421.1-98 的有关条文和 备注 5.5.2.2.4 步骤一）方尺固定在 Y 导轨面上，调 整方尺使 AA1 面上两点连线平行于 X 导轨。 步骤二）电感测微仪测头垂直触及方 尺检验面 BB1,缓慢移动 Y 导轨进行检验测 量，每 50 mm 取点读数，记录数据。 步骤三）将方尺翻面按上述方法再进 行一次测量。 取两次电感测微仪读数变化的代数差 值为 X 轴与 Y 轴的垂直度误差。 3 DB22/T 1522—2011 序号 4 简图 检验项目 允差 工件主轴的轴向窜动 0.003 mm 检验工具 电感测微仪 检验方法 参照 GB/T 17421.1-98 的有关条文和 备注： 5.6.2.2.1 和 5.6.2.2.2 静压轴承有预加负荷推力，不必对主 轴加力。 5 工件主轴的径向跳动 0.003 mm 电感测 微仪和 检验棒。 参照 GB/T 17421.1-98 的有关条文和 备注 5.6.1.2.2 和 5.6.1.2.3 4 DB22/T 1522—2011 序号 简图 6 检验项目 工件主轴轴线和 X 导轨的 平行度 允差 检验工具 a 及 b： 电感测 微仪和 0.005 mm/300 mm 检验棒 检验方法 参照 GB/T 17421.1-98 的有关条文和 备注： a.上母线平行度； 5.4.1.2.1 和 5.4.2.2.3 b.侧母线平行度 X 导轨置于行程的中间位置。 a. b. 7 砂轮轴的轴向窜动 0.003 mm 电感测微仪 参照 GB/T 17421.1-98 的有关条文和 备注： 5.6.2.2.1 和 5.6.2.2.2 静压轴承有预加负荷推力，不必对砂 轮轴加力。 5 DB22/T 1522—2011 序号 8 简图 检验项目 允差 砂轮轴锥面的径向跳动 0.003 mm 检验工具 电感测微仪 检验方法 参照 GB/T 17421.1-98 的有关条文和 备注 5.6.1.2.2 和 5.6.1.2.3 电感测微仪测头垂直接触锥面。 9 转台轴轴向窜动 0.003 mm 电感测 微仪和 检验棒 参照 GB/T 174