ICS 01.040.25;25.080.99 J59 GD 中华人民共和国国家标准 GB/T14896.6—2015 代替GB/T14896.6—1994 术语 特种加工机床 第6部分：其他特种加工机床 Non-traditional machinesTerminology- Part 6 :Other non-traditional machines 2015-12-10发布 2016-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T14896.6—2015 前言 GB/T14896《特种加工机床术语》分为14个部分： 第1部分：基本术语； 第2部分：电火花加工机床； 第3部分：电解加工机床； 一第4部分：超声加工机床； 第5部分：复合加工机床； 第6部分：其他特种加工机床； 第7部分：增材制造机床； 第8部分：电熔爆加工机床； 一 第9部分：激光加工机床； 一第10部分：电子束加工机床； 第11部分：离子束加工机床； 第12部分：等离子弧加工机床； 第13部分：射流加工机床； 第14部分：磨粒流加工机床。 本部分为GB/T14896的第6部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分代替GB/T14896.6—1994《特种加工机床术语其他特种加工机床》，与GB/T14896.6—1994 相比，主要变化如下： 标准名称的补充要素“其他特种加工机床”改为“第6部分：其他特种加工机床”； 一 二“引用标准”改为“规范性引用文件”，增加了引导语，引用标准只保留1个（见第2章，1994年 版的第2章）； 术语，修改了“光刻机”、“砂线切割机”、“电铸成形机”等3项机床名称的术语、定义及英文对应 词（见第3章，1994年版的第3章）； 参数的术语（见第4章，1994年版的第4章）； 删除“介质缸”和“电液压加工工作室”2项术语，修改了部分机床零部件术语的定义和英文对 一 和英文对应词，增加了“光刻”等7项加工方法的术语（见第6章，1994年版的第6章）； 删除了法、俄、德、日等语种。 本部分由中国机械工业联合会提出。 本部分由全国特种加工机床标准化技术委员会（SAC/TC161)归口。 本部分起草单位：南京航空航天大学、苏州电加工机床研究所有限公司、中国机械工程学会特种加 工分会。 本部分主要起草人：田宗军、汪炜、云乃彰、于志三、叶军、徐均良、王应。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T14896.6—1994。 1 GB/T14896.6—2015 特种加工机床术语 第6部分：其他特种加工机床 1范围 GB/T14896的本部分规定了GB/T14896其他部分未涉及的特种加工机床的机床名称、机床参 数、机床零部件和加工方法的术语及其定义。 本部分适用于各类其他特种加工机床和设备（以下简称“机床”）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T14896.1一2009特种加工机床术语第1部分：基本术语 3机床名称 3.1 光化学加工机床photochemicalmachines 利用光刻和化学腐蚀相结合的技术加工工件的机床。 3.1.1 光刻机床lithographicmachines 应用于光刻工艺的光化学加工机床。 3.1.2 刻蚀机etching machines 应用于刻蚀工艺的光化学加工机床。 3.2 砂线切割机床 fixed abrasive wire cutting machines 通过砂线高速运动切割工件的特种加工机床 3.3 磨料线切割机床 free abrasive wire sawing machines 通过高速运动的细金属线带动含有磨料的悬浮液产生作用，进行磨削加工的特种加工机床。 3.4 电铸成形机床 electroforming machines 利用电铸方法制造工件的特种加工机床。 4机床参数 机床通用的参数术语见GB/T14896.1—2009。 1 GB/T14896.6—2015 4.1 分辨率 resolution 光刻加工图形可以达到的最细线条宽度。 4.2 对准精度 alignment precision 套刻精度 overlayprecision 多层曝光时，层间图案的定位精度。 4.3 光强均匀性 light intensityuniformity 光刻时，投影在工件表面光强的均匀程度。 4.4 光源波长 light sourcewavelength 光刻曝光光源光波的波长。 5 机床零部件 机床通用的零部件术语见GB/T14896.1一2009。 5.1 化学刻蚀槽 曹chemical etching tank 盛放化学溶液、溶解工件材料的容器 5.2 高精度定位工作台highaccuracypositioningworktable 光刻中，在大行程范围内，具有快速移动、精确定位性能的工作台。 5.3 光刻光源系统 Elight source system 为光刻提供使光致抗蚀剂（光刻胶）产生反应的光源系统。 5.4 光刻曝光系统 exposure system 将光刻光源传来的光，通过照明系统、投影物镜，实现光束变换及曝光量控制的系统。 5.5 砂线 fixedabrasivewire 表面固着高硬度磨粒的线状工具。 5.6 张紧装置 tension unit 控制线状工具在运动中维持一定张力的装置。 5.7 导轮 guidewheel 对线状工具运动进行导向的轮状部件。 5.8 张紧轮 tension wheel 张紧装置中，提供线状工具合适稳定张紧力的轮状零件。 2 GB/T14896.6—2015 5.9 排线装置 line arrangement mechanism 按一定间隔排列线状工具的装置。 5.10 电铸槽 electroforming tank 内置原模、阳极材料、电解液，以实现电铸沉积的容器。 5.11 原模 original mould 电铸时，在其上以电化学沉积制造金属制品的原始模型。 5.12 电铸电源electroformingpowersupply 为实现电铸电化学反应提供电能的装置。 5.13 电铸工作液系统 Eelectroformingwork fluid system 提供电铸沉积所需电解液的装置，具备循环、过滤、温控等功能。 5.14 镀笔electroplating brush 电刷镀的工具，由手柄和阳极等组成。 5.15 电刷镀电源 brushelectroplatingpowersupply 为实现电刷镀电化学反应提供电能的装置。 6加工方法 6.1 化学刻蚀 chemical etching 化学腐蚀 chemical contouring chemical milling 化学铣削 按工件形状和尺寸要求，用酸、碱等腐蚀性溶液将材料蚀除的加工方法。工件不需加工的部位需用 耐蚀材料覆盖保护。 6.2 光刻lithography；photoetching 通过曝光，将掩模上的图形转印到涂覆有光致抗蚀剂（光刻胶）的工件表面，再经显影、刻蚀等光化 学工艺，使图形转移到工件上的加工方法。 6.3 砂线切割 fixed abrasive wire cutting 以表面固着有高硬度磨粒的金属丝作为切割工具，通过其往复运动进行工件切割的加工方法。 6.4 磨料线切割freeabrasivewire cutting 通过多根钢丝线的高速往复运动，将磨料带入加工区域进行磨削的加工方法。 6.5 电铸 寺electroforming process 利用金属电沉积原理，在原模上精确复制复杂或特殊形状工件的加工方法。 3