ICS 29.045 H82 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30861—2014 太阳能电池用锗衬底片 Germanium substrate for solar cell 2014-07-24发布 2015-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T30861—2014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）及材料分技术委员会 （SAC/TC203/SC2）共同提出并归口。 本标准起草单位：中锗科技有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、厦门乾照光电有限公司、天 津三安光电有限公司。 本标准主要起草人：孙小华、刘绍良、张莉萍、普世坤、干向武、林桂江， I GB/T 30861—2014 太阳能电池用锗衬底片 1范围 SZIG 证明书与订货单（或合同）内容。 本标准适用于垂直梯度凝固法（VGF）和直拉法（CZ）制备的太阳能电池用锗衬底片（以下简称锗衬 底片)。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T2828.1 计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T 6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T 6619 硅片弯曲度测试方法 GB/T 6620 硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T 6621 硅片表面平整度测试方法 GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T 13387 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 GB/T26072 太阳能电池用锗单晶 3要求 3.1产品分类 锗衬底片按导电类型分为两种： a）N型：主要用于单结电池； b）P型：主要用于三结电池。 3.2 2规格 锗衬底片按直径分为@50.8mm、@100mm，Φ150mm。 3.3 物理性能及位错密度 锗衬底片导电类型、掺杂剂、电阻率、晶向及晶向偏离度、载流子浓度和位错密度应符合 GB/T26072的规定。 3.4 外形尺寸 锗衬底片的外形尺寸应符合表1的规定。 1 GB/T30861—2014 表1外形尺寸 目近 要求 直径/mm 50.8 100 150 直径允许偏差/mm ±0.2 ±0.2 ±0.2 厚度、中心点/um 140~200 140~200 240~270 厚度允许偏差/um ± 15 ±15 ±15 主参考面长度/mm 17±1,0 32.5±1.0 57.5±2.5 总厚度变化（TTV)/μm ≤10 ≤15 ≤15 弯曲度（BOW）/μm ≤15 ≤20 ≤30 翘曲度（WARP)/μm ≤15 ≤20 ≤30 总平整度（TIR)/μm 9V ≤5 ≤5 3.5 5强度 Φ50.8mm、Φ100mm、Φ150mm锗衬底片的强度都应≥22.25N（51bf）。 3.6 表面质量 锗衬底片的表面质量应符合表2的规定。 表 2 2表面质量 序号 项目 最大缺陷限度 划伤 无 1 2 蚀坑 无 雾 3 无 亮点 锗衬底片直径/mm 50.8 100 150 4 （颗粒沾污） 数量/（个/片） 4 10 15 正 5 区域沾污 无 表 6 崩边 无 面 7 裂纹 无 8 凹坑 无 9 沟(槽) 无 10 小丘 无 11 橘皮、波纹 无 12 状态 开盒即用 13 崩边 无 背 14 裂纹 无 表 15 区域沾污 无 面 16 背表面处理 酸或碱腐蚀，吸除处理或由供需双方商定 2 GB/T30861—2014 3.7其他 需方如有对本标准规定以外的技术要求，由供需双方另行商定。 4试验方法 4.14 锗衬底片的导电类型、电阻率、晶向及晶向偏离度、载流子浓度、位错密度测量按GB/T26072规 定的方法进行。 4.24 锗衬底片的直径测量用千分尺或精度相当的量具进行。 4.3 锗衬底片的厚度和总厚度变化测量参照GB/T6618规定的方法进行。 4.4 锗衬底片的主参考面长度的测量参照GB/T13387规定的方法进行。 4.54 锗衬底片的弯曲度的测试参照GB/T6619规定的方法进行， 4.6 锗衬底片的翘曲度的测试参照GB/T6620规定的方法进行。 4.7 锗衬底片的总平整度的测试参照GB/T6621规定的方法进行。 4.8 锗衬底片的强度的测试参照附录A进行。 4.9 锗衬底片的表面质量的测试参照GB/T6624规定的方法进行。 5检验规则 5.1 检查和验收 5.1.1产品应由供方技术（质量）监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或合同）的规定，并填 写产品质量证明书。 规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。 5.2组批 锗衬底片应成批提交验收，每批应由相同规格的产品组成。 5.3检验项目 每批锗衬底片抽检的项目有物理性能及位错密度、外形尺寸、强度和表面质量。 5.4抽样验收 5.4.1每批锗衬底片如属非破坏性测量的项目，检测按GB/T2828.1一般检验水平Ⅱ，正常检验一次 抽样方案，或由供需双方协商确定的抽样方案进行。 供需双方协商确定的抽样方案进行。 5.5检验结果的判定 5.5.1锗衬底片的导电类型、晶向与本标准规定不符时，则判该批产品为不合格。 5.5.2锗衬底片的其他检验项目的接收质量限（AQL）见表3。抽检不合格的产品，供方可对不合格项 进行全数检验，除去不合格品后，合格品可以重新组批。 3