ICS 71.100.20 G 86 中华人民共和国国家标准 GB/T 31986—2015 电子工业用气体 八氟丙烷 Gas for electronic industryPerfluoropropane 2015-09-11发布 2016-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T31986—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。 本标准起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、浙江省化工研究院有限公司、 佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化 工研究设计院有限公司、四川中测标物科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究 设计院有限公司。 本标准主要起草人：林宇巍、陈熔、史婉君、方路、廖恒易、金向华、孙猛、方华、孙福楠、方正、崔学文、 周鹏云。 I GB/T 31986—2015 电子工业用气体 八氟丙烷 1范围 本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于六氟内烯或七氟内烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟内烷产品， 以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗 气体。 分子式CF。 相对分子质量：188.017（按2011年国际相对原子质量）。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.3气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 气瓶颜色标志 GB 7144 GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 GB 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 16804 气瓶警示标签 GB/T 26571 特种气体储存期规范 GB/T28726气体分析氨离子化气相色谱法 气瓶安全监察规程（2000版） 危险化学品安全管理条例（2011版） 特种设备安全监察条例（2009版） 3技术要求 八氟丙烷的质量应符合表1的要求。 表1技术指标 项目 指标 八氟丙烷（C,F）纯度（体积分数）/10-2 666'66 99.99 （氧+氩）(O+Ar)含量（体积分数）/10- < 1 10 氮（N2）含量（体积分数）/10一6 5 20 1 GB/T31986—2015 表1 (续) 项目 指标 氧化碳(CO)含量（体积分数)/10-6 < 0.5 5 二氧化碳（CO,）含量（体积分数）/10- 0.5 5 其他碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙 1 50 烷、八氟环丁烷）含量（体积分数）/10-6 < 其他有机物（以甲烷计)含量（体积分数)/10-6 < 1 5 水（H,O)含量（体积分数）/10-6 < 1 5 酸度（以HF计）含量（质量分数）/10-6 < 0.1 0.1 总杂质含量（摩尔分数）/10-6 10 100 颗粒 供需双方商定 试验方法 4.1 抽样、判定和复检 4.1.1八氟丙烷产品除酸度外的其他指标应逐一检验并验收，酸度每批次检一瓶。当检验结果有任何 一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。 4.1.2八氟丙烷采样安全应符合GB/T3723中的相关规定。 4.2八氟丙烷纯度 4.2.1 总杂质含量按式(1)计算： .......(1) 式中： 总杂质含量（体积分数）/10-6； 91 氧十氩的含量（体积分数）/10-6； 氮气的含量（体积分数）/10-6； 92 氧化碳的含量（体积分数）/10-； 93 二氧化碳的含量（体积分数）/10-； 其他碳氟化合物的含量（体积分数）/10-%； 95 其他有机物（以甲烷计）含量（体积分数）/10-； 96 水含量（体积分数）/10-6。 4.2.2 八氟丙烷纯度按式（2)计算： 9=100-s ×10-4 ......(2) 式中： 八氟丙烷纯度（体积分数）/10-2 4.3 氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙烷、八氟环丁烷含量的 测定 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定八氟丙烷中的氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化 GB/T31986—2015 碳、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙烷、八氟环丁烷含量。 预分离柱：长约3m、内径约2mm的不锈钢管，内装约粒径为0.18mm~0.25mm的PorapakQ （一种高分子聚合物），或其他等效色谱柱。 色谱柱I：长约2m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的PorapakQ，或 其他等效色谱柱。该柱用于分析二氧化碳、四氟化碳、六氟乙烷含量。 色谱柱Ⅱ：长约2m、内径约3mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子筛，或 采用其他等效色谱柱。该柱用于分析氧十氩、氮气、一氧化碳含量。 该柱用于分析六氟丙烯、七氟丙烷、八氟环丁烷含量。 标准样品：组分含量的体积分数为（1～5）×10-6，平衡气为氢。 允许采用其他等效的方法测定八氟丙烷中的氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳、六氟乙烷、 六氟丙烯、七氟丙烷、八氟环丁烷含量。当以上测定结果有异议时，以GB/T28726规定的方法为仲裁 方法。 4.4其他有机物（以甲烷计）的测定 按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定八氟丙烷中的其他有机物（以甲烷计）含量。当 以上测定结果有异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。 仪器检测限的体积分数：0.05×10-6。 4.5水含量的测定 按GB/T5832.3规定的方法或其他等效的方法测定八氟内烷的水含量。当以上测定结果有异议 时，以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。 4.6酸度（以HF计）的测定 4.6.1方法提要 试样中的酸和酸性物质与过量的氢氧化钠标准溶液发生中和反应，以甲基红-溴甲酚绿为指示剂， 用硫酸标准溶液滴定过量的碱，从而测定出试样的酸度。 4.6.2试剂、溶液 4.6.2.1氢氧化钠标准溶液：c(NaOH)约0.01mol/L。由0.1mol/L标准溶液稀释制取， 4.6.2.2 硫酸标准滴定溶液：c（1/2H,SO）约0.01mol/L。由0.1mol/L标准溶液稀释制取， 4.6.2.3 混合指示剂：甲基红乙醇溶液与溴甲酚绿乙醇溶液按1：3体积比混合。 4.6.3 仪器、设备 4.6.3.1 微量滴定管：5mL，分度值为0.02mL，或0.01mL。 4.6.3.2 多孔气体分布管：孔度为2号。 4.6.3.3 湿式气体流量计。 4.6.4测定步骤 酸度测定的吸收装置如图1所示。缓冲瓶、吸收瓶均为300mL锥形瓶，吸收瓶内各装人100mL 新煮沸过的蒸馏水和4.00mL氢氧化钠标准溶液。气体分布器管口距瓶底8mm，试样气体流速 500mL/min，通气量约15L，由湿式气体流量计计量。通气完毕，从系统中取下吸收瓶，分别加人 3