(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123217962.7 (22)申请日 2021.12.21 (73)专利权人 成都尚明工业有限公司 地址 610000 四川省成 都市经济技 术开发 区(龙泉驿区)灵池街6号 (72)发明人 刘明华　徐常文　 (74)专利代理 机构 成都欣圣知识产权代理有限 公司 512 92 代理人 彭伟 (51)Int.Cl. H01L 21/687(2006.01) B66F 7/02(2006.01) F16F 15/067(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体加工用升降装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种半导体加工用升 降 装置， 目的是解决现有半导体加工芯片在上下移 动时， 稳定性差， 且易掉落的技术问题。 该装置包 括： 传动杆， 安装于底座上方； 驱动电机， 其动力 输出端与所述传动杆一端连接； 第一升降组件， 纵向安装于所述底座上方； 第二升降组件， 纵向 安装于所述底 座上方， 并与所述第一升降组件相 对称设置； 升降台， 设置于所述第一升降组件和 第二升降组件之间； 所述升降台上表 面开设有凹 槽， 所述凹槽内活动设置有一承接板， 所述承接 板与所述凹槽内底面之间设置有若干弹簧； 所述 第一升降组件和第二升降组件带动所述升降台 竖直上下移动。 本实用新型半导体加工芯片在上 升或下降移动的过程中能保持稳定， 且不会掉 落。 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 CN 216362127 U 2022.04.22 CN 216362127 U 1.一种半导体加工用升降装置， 其特 征在于， 包括： 传动杆 （2） ， 安装于底座 （1） 上 方； 驱动电机 （3） ， 其动力输出端与所述传动杆 （2） 一端连接； 第一升降组件 （4） ， 纵向安装于所述底座 （1） 上 方； 第二升降组件 （5） ， 纵 向安装于所述底座 （1） 上方， 并与所述第一升降组件 （4） 相对称设 置； 升降台 （8） ， 设置 于所述第一升降组件 （4） 和第二升降组件 （5） 之间； 所述升降台 （8） 上表面开设有凹槽 （80） ， 所述凹槽 （80） 内活动设置有一承接板 （81） ， 所 述承接板 （81） 与所述凹槽 （80） 内底面之间设置有 若干弹簧 （83） ； 其中， 所述传动杆 （2） 上设置有主动轮 （6） ， 所述第一升降组件 （4） 和第二升降组件 （5） 分别通过从动轮 （7） 与所述传动杆 （2） 传动连接， 所述第一升降组件 （4） 和第二升降组件 （5） 带动所述升降台 （8） 竖直上 下移动。 2.根据权利要求1所述的升降装置， 其特征在于， 所述传动杆 （2） 通过安装座 （20） 横 向 安装于所述底座 （1） 上； 所述驱动电机 （3） 通过电机安装座 （3 0） 安装于所述底座 （1） 一端。 3.根据权利要求1所述的升降装置， 其特 征在于， 所述第一升降组件 （4） 包括： 第一支撑柱 （40） ， 垂直固定 于所述底座 （1） 上表面； 第一安装板 （41） ， 沿所述第一支撑柱 （40） 长度方向固定于所述第一支撑柱 （40） 侧壁 上； 第一丝杠 （42） ， 沿所述第一 安装板 （41） 长度方向固定 于所述第一 安装板 （41） 上； 第一移动座 （4 4） ， 套设于所述第一丝杠 （42） 上， 可沿所述第一丝杠 （42） 上 下移动； 其中， 所述第一丝杠 （42） 下端安装有一个从动轮 （7） ， 该从动轮 （7） 与对应的主动轮 （6） 传动连接， 所述升降台 （8） 一端与所述第一移动座 （4 4） 连接。 4.根据权利要求3所述的升降装置， 其特征在于， 所述第一丝杠 （42） 通过第一丝杠座 （43） 安装于所述第一安装板 （41） 上， 所述第一移动座 （44） 通过第一连接块 （45） 与所述升降 台 （8） 连接， 所述第一连接块 （45） 一端固定于所述第一移动座 （44） 上， 另一端与所述升降台 （8） 固定连接 。 5.根据权利要求 4所述的升降装置， 其特 征在于， 所述第二升降组件 （5） 包括： 第二支撑柱 （5 0） ， 垂直固定 于所述底座 （1） 上表面； 第二安装板 （51） ， 沿所述第二支撑柱 （50） 长度方向固定于所述第二支撑柱 （50） 侧壁 上； 第二丝杠 （52） ， 沿所述第二 安装板 （51） 长度方向固定 于所述第二 安装板 （51） 上； 第二移动座 （54） ， 套设于所述第二丝杠 （52） 上， 可沿所述第二丝杠 （52） 上 下移动； 其中， 第二丝杠 （52） 下端安装有另一个从动轮 （7） ， 该从动轮 （7） 与对应的主动轮 （6） 传 动连接， 所述升降台 （8） 一端与所述第二移动座 （54） 连接 。 6.根据权利要求5所述的升降装置， 其特征在于， 所述第二丝杠 （52） 通过第二丝杠座 （53） 安装于所述第二安装板 （51） 上， 所述第二移动座 （54） 通过第二连接块 （55） 与所述升降 台 （8） 连接， 所述第二连接块 （55） 一端固定于所述第二移动座 （54） 上， 另一端与所述升降台 （8） 固定连接 。 7.根据权利 要求1所述的升降装置， 其特征在于， 所述承接板 （81） 与所述凹槽 （80） 内底权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216362127 U 2面之间设置有 若干升降柱 （82） ， 所述弹簧 （83） 套设于所述升降柱 （82） 上。 8.根据权利要求7所述的升降装置， 其特征在于， 所述升降台 （8） 底部设置有烘干箱 （9） ， 所述凹槽 （80） 和所述承接 板 （81） 上均开设有 若干通孔 （84） 。 9.根据权利要求8所述的升降装置， 其特征在于， 所述烘干箱 （9） 内设置有用于加热的 加热块 （9 2） ， 及转动设置 于所述烘干箱 （9） 内的电风扇 （91） 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216362127 U 3