(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210663629.9 (22)申请日 2022.06.14 (71)申请人 中国电子科技 集团公司第十一研究 所 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路4 号 (72)发明人 牛佳佳　刘朋超　韩岗　李乾　 折伟林　喻松林　 (74)专利代理 机构 工业和信息化部电子专利中 心 11010 专利代理师 袁鸿 (51)Int.Cl. B25B 11/00(2006.01) G01D 21/02(2006.01) (54)发明名称 一种用于碲镉汞材料的工装夹具及测试方 法 (57)摘要 本发明公开了一种用于碲镉汞材料的工装 夹具及测试方法， 包括： 底座(7)， 其具有与目标 光谱仪对应的连接接口； 夹具本体(1)， 其安装在 所述底座(7)上， 所述夹具本体(1)上设置有： 第 一凹槽区域(5)， 呈矩形， 且其面积大于放入的样 品片的尺寸； 滑块(3)， 其 设置在所述第一凹槽区 域(5)相对的两边， 且可沿所述第一凹槽区域(5) 相对的两边滑动， 以对放入所述第一凹槽区域 (5)中的样品片进行夹持； 第二凹槽区域(4)， 与 所述第一凹槽区域(5)无重叠， 用以放入衬底片。 本申请实施例提出了一种通用的工装夹具， 实现 对不同尺寸样品的夹持和 测试。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 115229704 A 2022.10.25 CN 115229704 A 1.一种用于碲镉汞材 料的工装夹具， 其特 征在于， 包括： 底座(7)， 其具有与目标光谱仪对应的连接 接口； 夹具本体(1)， 其 安装在所述底座(7)上， 所述夹具本体(1)上设置有： 第一凹槽区域(5)， 呈矩形， 且其 面积大于放入的样品片的尺寸； 滑块(3)， 其设置在 所述第一凹槽区域(5)相对的两边， 且可沿所述第一凹槽区域(5)相 对的两边滑动， 以对放入所述第一凹槽区域(5)中的样品片进行夹持； 第二凹槽区域(4)， 与所述第一凹槽区域(5)无重 叠， 用以放入衬底片。 2.如权利要求1所述的工装夹具， 其特 征在于， 所述滑块(3)上设置有滑槽； 所述夹具本体(1)上还设置有： 弹簧片(2)， 其一端连接在所述滑槽上， 另一端连接在 所述夹具本体(1)上， 以实现所述 滑块(3)的滑动功能。 3.如权利要求1所述的工装夹具， 其特征在于， 所述夹具本体(1)上设置有用于提供握 持点的握持凸起(6)。 4.如权利要求1所述的工装夹具， 其特征在于， 所述第一凹槽区域(5)以及所述第二凹 槽区域(4)的深度满足： 在衬底片以及样品片放入后， 衬底片与样品片处于同一聚焦高度。 5.如权利 要求1所述的工装夹具， 其特征在于， 所述夹具本体(1)与所述底座(7)可拆卸 安装。 6.一种碲镉汞材料组分、 厚度测试方法， 利用如权利要求1 ‑5任一项所述的工装夹具实 现， 包括如下步骤： 将碲锌镉衬底片放入第二凹槽区域； 将底座卡入光谱仪的样品座； 选取样品片， 放入第一凹槽区域， 滑动滑块以夹持所述样品片； 将夹具本体安装到所述底座上； 根据样品尺寸的在测试 软件上输入 对应的测量距离和步距； 通过所述测试 软件执行测试， 并在完成后， 计算 生成碲镉汞的组分以及厚度。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115229704 A 2一种用于碲镉汞材料的工装夹具及测试方 法 技术领域 [0001]本发明涉及红外探测器技术领域， 尤其涉及一种用于碲镉汞材料的工装夹具及测 试方法。 背景技术 [0002]在红外探测器领域， 碲镉汞由于其带隙可调、 覆盖波段广成为目前主流的红外材 料之一， 作为一种直接带隙半导体， 碲镉汞通过电子在价带和导带间的跃迁实现光电转化。 经过近三十年的发展， 碲镉汞材料主要的制备方法包括液相外延(LPE)、 分子束外延(MBE) 和MOVPE等， 其中LPE由于快速高效且易于控制成为主 要的大规模生产手段。 [0003]碲镉汞材料的组分直接影响了探测器的截至波长， 厚度影响后续器件工艺， 控制 好碲镉汞的组分和厚度至关重要。 保证材料的组分均匀性和厚度均匀性是制备高性能红外 探测器的基础， 因此对碲镉汞薄膜的组分和厚度进行精确高效的测量很有必要。 [0004]由于晶格错配 的存在， 碲镉汞薄膜在碲锌镉衬底上外延成膜性能最好。 常规工艺 使用的碲锌镉衬底多为矩形， 且具有较多规格， 进而后续生长的碲镉汞 也多为矩形， 在测试 过程中需要设计不同尺寸的夹具来固定样品。 目前使用的傅里叶变换 红外光谱仪是通过对 经过样品吸收的红外光进行探测， 但材料尺寸规格过多， 需要使用多款夹具及相匹配的实 验参数完成测试。 发明内容 [0005]本发明实施例提供一种用于碲镉汞材料的工装夹具及测试方法， 用以提出一种通 用的工装夹具， 实现对不同尺寸样品的夹持和 测试。 [0006]本发明实施例提供一种用于碲镉汞材 料的工装夹具， 包括： [0007]底座7， 其具有与目标光谱仪对应的连接 接口； [0008]夹具本体1， 其 安装在所述底座7 上， 所述夹具本体1上设置有： [0009]第一凹槽区域5， 呈矩形， 且其 面积大于放入的样品片的尺寸； [0010]滑块3， 其设置在所述第一凹槽区域5相对的两边， 且可沿所述第一 凹槽区域5相对 的两边滑动， 以对放入所述第一凹槽区域5中的样品片进行夹持； [0011]第二凹槽区域 4， 与所述第一凹槽区域5无重 叠， 用以放入衬底片。 [0012]在一些实施例中， 所述滑块3上设置有滑槽； [0013]所述夹具本体1上还设置有： [0014]弹簧片2， 其一端连接在所述滑槽上， 另一端连接在所述夹具本体1上， 以实现所述 滑块3的滑动功能。 [0015]在一些实施例中， 所述夹具本体1上设置有用于提供握持点的握持凸起6 。 [0016]在一些实施例中， 所述第一凹槽区域5以及所述第二凹槽区域4的深度满足： 在衬 底片以及样品片放入后， 衬底片与样品片处于同一聚焦高度。 [0017]在一些实施例中， 所述夹具本体1与所述底座7 可拆卸安装。说　明　书 1/3 页 3 CN 115229704 A 3