(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210630170.2 (22)申请日 2022.06.06 (71)申请人 南方科技大 学 地址 518055 广东省深圳市南 山区桃源街 道学苑大道1088号 (72)发明人 李携曦　喻彬璐　李静　 (74)专利代理 机构 深圳市君胜知识产权代理事 务所(普通 合伙) 44268 专利代理师 张永盛 (51)Int.Cl. G01D 21/02(2006.01) (54)发明名称 一种液体压力测量与污染监测的微型传感 器及其制作方法 (57)摘要 本发明公开了一种液体压力测量与污染监 测的微型传感器及其制作方法， 微型传感器包 括： 印制电路板； 氮化镓光 芯片， 所述氮化镓光芯 片设置在所述印制电路板上， 用于发射光信号以 及将光信号转换为光电流信号， 并在光信号发生 变化时输出相应的光电流信号； 高分子薄膜， 所 述高分子薄膜设置在所述氮化镓光芯片上方， 并 与所述氮化镓光芯片形成一密闭腔体； 其中， 所 述高分子薄膜的表面在受力时会产生变形。 本发 明中可实现对液体压力的检测以及实时监测液 体介质是否受到 污染。 权利要求书2页 说明书8页 附图5页 CN 115235534 A 2022.10.25 CN 115235534 A 1.一种液体压力测量与污染监测的微型传感器， 其特 征在于， 包括： 印制电路板； 氮化镓光芯片， 所述氮化镓光芯片设置在所述印制电路板上， 用于发射光信号以及将 光信号转换为光电流信号， 并在光信号发生变化时输出相应的光电流信号； 高分子薄膜， 所述高分子薄膜设置在所述氮化镓光芯片上方， 并与所述氮化镓光芯片 形成一密闭腔体； 其中， 所述高分子薄膜的表面在受力时会产生变形。 2.根据权利要求1所述的液体压力测量与污染监测的微型传感器， 其特征在于， 所述高 分子薄膜由柔 性高分子聚合物构成。 3.根据权利要求2所述的液体压力测量与污染监测的微型传感器， 其特征在于， 所述柔 性高分子聚合物为聚二甲基硅氧烷、 聚己二酸/对苯二甲酸丁二酯共混物、 聚氨基甲酸酯、 聚烯烃弹性体、 乙烯 ‑乙酸乙烯酯共聚物或聚甲基丙烯酸甲酯中的一种或多种。 4.根据权利要求1 ‑3任一项所述的液体压力测量与污染监测的微型传感器， 其特征在 于， 所述高分子薄膜与所述氮化 镓光芯片相对的一 面设置有凹凸微结构。 5.根据权利要求1 ‑3任一项所述的液体压力测量与污染监测的微型传感器， 其特征在 于， 所述高分子薄膜的厚度为0.0 5‑10mm。 6.根据权利要求1所述的液体压力测量与污染监测的微型传感器， 其特征在于， 所述高 分子薄膜的表面的四周与所述氮化镓光芯片之间通过环氧树脂或聚二甲基硅氧烷连接以 形成所述封闭腔体。 7.根据权利要求1所述的液体压力测量与污染监测的微型传感器， 其特征在于， 所述氮 化镓光芯片包括： 光源与光电探测器； 所述光源与所述光电探测器采用氮化镓外延片并通 过半导体微纳加工 工艺制成； 所述光源用于发出光信号； 所述光电探测器沿所述光源四周环绕设置， 所述光电探测器用于接收所述光源发出的 光信号并转换为 光电流信号输出。 8.一种应用于权利要求1 ‑7任一项所述的液体压力测量与污染监测的微型传感器的制 作方法， 其特 征在于， 包括： 提供印制电路板； 制备氮化 镓光芯片； 制备高分子薄膜并采用环氧树脂或聚二甲基硅氧烷将高分子薄膜与氮化镓光芯片的 上表面连接形成密闭腔体； 将氮化镓光芯片倒装在印制电路板上。 9.根据权利要求8所述的液体压力测量与污染监测的微型传感器的制作方法， 其特征 在于， 所述高分子薄膜的制备 方法包括： 提供具有凹凸微结构的模板并将模板 置于塑料盒中； 将液态的柔 性高分子聚合物倾倒在模板上； 通过抽真空 的方式去除柔性高分子聚合物上的气泡， 并将柔性高分子聚合物固化后形 成的薄膜从模板上脱离； 依次使用乙醇和去离 子水清洗薄膜。 10.根据权利要求8所述的液体压力测量与污染监测的微型传感器的制作方法， 其特征权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115235534 A 2在于， 所述氮化 镓光芯片包括 光源与光电探测器， 所述氮化 镓光芯片的制备 方法包括： 提供具有相同化学成分和结构的氮化 镓外延片； 采用半导体微纳加工 工艺得到光源与光电探测器。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115235534 A 3