文库搜索
切换导航
首页
频道
安全标准
安全报告
安全文档
首页
安全标准
安全报告
安全文档
批量下载
使用说明
官方交流群
会员登录
ICS 31.200 L 55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 26112—2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则 Micro-electromechanical system technology- General rules for the assessment of micro-mechanical parameters 2011-01-10发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 26112—2010 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。 本标准起草单位:天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中 原工学院。 本标准主要起草人:胡晓东、丁红宇、刘伟、张苹、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥。 I GB/T26112—2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则 1范围 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T26111微机电系统(MEMS)技术术语 3术语和定义 GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 量micro-mechanical parameters 微机械量 泛指一切与微机械性质和状态相关的物理量,包括几何量、流量、温度、声学、力学和运动等物理量; 由于几何量、流量、温度、声学等物理量进行了专门的分类,因此微机械量是指位移、速度、加速度、振动 等运动特性参量,以及与运动特性相关的力学参量 3. 2 微位移Microscaledisplacement 描述质点在微米级尺度下位置变化的物理量,其大小等于起点至终点的直线距离,方向由起点指向 终点。 注1:微结构在受到一定激励的条件下会产生位置的变化,典型的位置变化有两种形式,平移和转动,分别对应线位 移和角位移。 注2:如果将微结构基底作为一个参考平面,与这个参考平面面平行的位移为面内位移,否则称为离面位移。 3.3 振动vibration 物体的往复运动。按照往复运动的方向可分为线振动和角振动。评定微结构的振动特性主要包 括:振动幅度、谐振频率、振动模态、品质因子。 3. 4 残余应力 residual stress 在微加工处理完成后,在没有外力的作用下,在微机械结构内部保持平衡而存留的应力,称为残余 应力,是内应力、外应力和热应力的综合作用 3.5 应力梯度 stress gradient 微机械结构残余应力在厚度方向的非均匀分布,悬空式微机械结构在下部辆牲层释放后会由于残 1
GB-T 26112-2010 微机电系统 MEMS 技术 微机械量评定总则
安全标准
>
国标
>
文档预览
中文文档
16 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
0 收藏
3.0分
赞助1.5元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共16页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助1.5元下载
本文档由
思安
于
2023-02-06 17:30:32
上传分享
举报
下载
原文档
(2.2 MB)
分享
给文档打分
您好可以输入
255
个字符
网站域名是多少( 答案:
github5.com
)
评论列表
暂时还没有评论,期待您的金玉良言
热门文档
ISO 27001 2022中文试译稿v1.0 - 汤季洪 老师.pdf
GB-T 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅.pdf
GB-T 30902-2014 无机化工产品 杂质元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES).pdf
GB-T 42506-2023 国有企业采购信用信息公示规范.pdf
GB 29995-2013 兰炭单位产品能源消耗限额.pdf
GB-T 35273-2020 信息安全技术 个人信息安全规范.pdf
DB13-T 5387-2021 水库库容曲线修测及特征值复核 修正技术导则 河北省.pdf
DB4403-T 114-2020 公共信用信息资源目录规范 深圳市.pdf
T-SLEA 1011.1—2023 实验室设计与建设技术规范 第1部分:通用技术要求.pdf
GB-T 29849-2013 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法.pdf
GB-T 8905-2012 六氟化硫电气设备中气体管理和检测导则.pdf
T-WLJC 116—2023 工业互联网数据采集装置.pdf
GB-T 42875-2023 城市公共设施 城市家具 分类.pdf
JR-T0156-2017 移动终端支付可信环境技术规范.pdf
T-CAS 673—2022 汽车用户投诉处理服务质量评价通则.pdf
奇安信 2022年上半年网络安全应急响应分析报告.pdf
ISO 21434 Road vehicles Cybersecurity engineering 英文版.pdf
GB-T 24936-2010 全地形车 术语.pdf
JR-T 0077-2014 集合资金信托计划文件示范文本.pdf
GB-T 36001-2015 社会责任报告编写指南.pdf
1
/
3
16
评价文档
赞助1.5元 点击下载(2.2 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
1.5
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 点击这里 下载
享优惠, 办会员
每年仅需
99
元(可开发票 无限下载)
加客服微信扫描如下二维码 咨询
×
分享,让知识传承更久远
×
文档举报
举报原因:
×
优惠下载该文档
免费下载 微信群 欢迎您
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。