ICS 31.030 L 90 中华人民共和国国家标准 GB/T 37403—2019 薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD)用 四甲基氢氧化铵显影液 Tetramethylammonium hydroxide developer for thin film transistor-liquid crystal display(TFT-LCD) 2019-09-01实施 2019-05-10发布 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T37403—2019 目 次 前言 范围 规范性引用文件 3 技术要求 4 试验方法 检验规则 5 6 包装、标志、运输和贮存 附录A（规范性附录） 四甲基氢氧化铵的测定 附录B（规范性附录） 碳酸根离子的测定 自动电位滴定法 10 附录C（规范性附录） 氯离子的测定离子色谱法 13 附录D（规范性附录） 甲醇的测定顶空气相色谱法 15 附录E（规范性附录） 金属离子的测定电感耦合等离子体质谱法 18 附录F（规范性附录） 颗粒数的测定 21 GB/T37403—2019 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203提出并归口。 本标准起草单位：杭州格林达化学有限公司、中国电子技术标准化研究院。 本标准主要起草人：尹云舰、陈玉英、王香、周利超、裴会川、曹可慰。 GB/T37403—2019 薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）用 四甲基氢氧化铵显影液 1范围 本标准规定了薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）用四甲基氢氧化铵显影液的技术要求、试验方 法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）用四甲基氢氧化铵显影液 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 605 化学试剂色度测定通用方法 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T 6682 2008分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 9725 化学试剂电位滴定法通则 GB/T 11446.1 电子级水 GB/T 11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB500732013 洁净厂房设计规范 JF1159一2006四级杆电感耦合等离子体质谱仪标准规范 3技术要求 3.1性状 无色透明液体，浓度高时，有滑腻感。具有强碱性，有腐蚀性，高温下易分解。易吸收空气中的二氧 化碳，溶于水、乙醇。 3.2 2技术指标 技术指标应符合表1的规定。 1 GB/T37403—2019 表 1 型号规格 项目 C-25 C-20 C-2.38 1 II 1 II II 1 II II 色度 5 5 5 5 5 5 5 5 5 Hazen 四甲基氢氧化铵 2.380± 2.380± 2.380± 25±0.03 25±0.05 25±0.10 20±0.03 20±0.05 20±0.10 % 0.003 0.005 0.01 碳酸根离子 50 50 100 50 50 100 15 20 30 mg/kg 氯离子 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 mg/kg 甲醇 10 40 40 40 40 40 40 10 10 mg/kg 锂(Li) 0.5 1 10 0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 硼(B) 0.5 1 10 0.5 1 10 0,1 1 Iμg/kg 钠(Na) 0.5 1 10 0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 镁(Mg) 0.5 1 10 0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 铝(AI) 0.5 1 10 0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 钾(K) 0,5 1 10 0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 钙(Ca) 0.5 10 1 0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 钛(Ti) 0.5 1 10 0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 钒(V) 0.5 1 10 0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 铬(Cr) 0.5 1 10 0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 锰(Mn) 0.5 1 10 .0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 铁(Fe) .0.5 1 10 0.5 1 10 0.1 1. 10 μg/ kg 钴(Co) 0.5 1 10 0.5 1 10 0.1 1 10 μg/kg 2