ICS 31.030 L 90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 28159—2011 电子级磷酸 Electronic gradephosphoric acid 2011-12-30发布 2012-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 28159—2011 目 次 前言 范围 1 规范性引用文件 2 3产品分类 要求 试验方法 5 5.1 安全提示 5. 2 般规定 5.3 外观 5. 4 磷酸含量 5.5 易氧化物含量 5.6 金属离子含量 5.7 阴离子含量 5.8 颗粒测定· 6 检验规则 6. 1 组批与抽样 6.2检验项目 7标志、标签 8包装、运输、贮存、操作…. 附录A(资料性附录) 仪器工作条件 附录B(资料性附录) 离子色谱图 13 I GB/T28159—2011 前言 本标准是根据GB/T1.12009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化委员会(TC203提出并归口 本标准负责起草单位:四川成洪磷化工有限责任公司、江苏江阴市润玛电子材料有限公司、湖北兴 发化工集团股份有限公司、苏州电子材料厂有限公司、苏州晶瑞化学有限公司。 本标准主要起草人:李全东、肖遥、王文武、戈十勇、何珂、李少平、钟尉、尤家栋、刘兵, GB/T 28159—2011 电子级磷酸 1范围 本标准规定了电子级磷酸的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于电子工业用磷酸。 本标准不涉及使用安全性问题,本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的 限制。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 包装储运图示标志 GB/T 191 GB/T 601 化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T 603 化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 1282- 2—1996化学试剂磷酸 GB 3149—2004 食品添加剂磷酸 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11446.1电子级水 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 50472 电子工业洁净厂房设计规范 3产品分类 标准规定的电子级磷酸分为两种规格:E1为普通电子级磷酸,E2为高纯电子级磷酸 4要求 外观:无色、无臭、黏稠状液体 4. 2 电子级磷酸应符合表1要求。 表1要求 指 标 项 目 E1 E2 磷酸(H:PO,)质量分数(85%)/(%) 85~87 85~87 易氧化物(以H,PO计)质量分数/% 0.005 0.001 硝酸盐(NO:)质量分数/(mg/kg) 5 0.5 GB/T28159—2011 表1 (续) 指 标 项目 E1 E2 硫酸盐(SO)质量分数/(mg/kg) 10 5 氯化物(Cl-)质量分数/(mg/kg) 1 0. 5 铝(Al)质量分数/(μg/kg) 200 50 硼(B)质量分数/(μg/kg) 50 锑(Sb)质量分数/(μg/kg) 3.000 300 砷(As)质量分数/(μg/kg) 100 20 锁(Ba)质量分数/(μg/kg) 100 20 镉(Cd)质量分数/(μg/kg) 100 20 钙(Ca)质量分数/(μg/kg) 1 000 50 铬(Cr)质量分数/(μg/kg) 100 20 钻(Co)质量分数/(μg/kg) 100 20 铜(Cu)质量分数/(μg/kg) 50 20 镓(Ga)质量分数/(μg/kg) 100 10 金(Au)质量分数/(μg/kg) 100 10 铁(Fe)质量分数/(μg/kg) 300 50 铅(Pb)质量分数/(μg/kg) 100 20 锂(Li)质量分数/(ug/kg) 100 10 镁(Mg)质量分数/(μg/kg) 100 20 锰(Mn)质量分数/(μg/kg) 100 20 镍(Ni)质量分数/(μg/kg) 100 20 钾(K)质量分数/(μg/kg) 100 20 银(Ag)质量分数/(μg/kg) 100 20 钠(Na)质量分数/(μg/kg) 500 50 SZAC 锡(Sn)质量分数/(μg/kg) 一 10 锶(Sr)质量分数/(μg/kg) 100 20 钛(Ti)质量分数/(μg/kg) 100 50 < 锌(Zn)质量分数/(μg/kg) 100 50 颗粒(粒径,数量)/(μmpcs/mL) 5 试验方法 5. 1 安全提示 本试验方法中使用的部分试剂具有毒性、腐蚀性及易燃,操作者须小心谨慎!如溅到皮肤上应立即 用水冲洗,严重者应立即治疗。使用易燃品时,严禁使用明火加热。 2

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