ICS 71.040.40 G 86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T33360—2016 气体分析 痕量分析用气体纯化技术导则 Gas analysis-Guidelines for purification of gases for trace analysis instrument 2016-12-30发布 2018-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T33360—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国石油和化学工业联合会提出。 本标准由全国气体标准化技术委员会（SAC/TC206）归口。 本标准起草单位：先普半导体技术（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司、中国石油天然 院有限公司。 本标准主要起草人：江晓松、陈雅丽、谭敬明、方正、潘义、单晓萍。 I GB/T33360—2016 气体分析痕量分析用气体纯化技术导则 1范围 本标准规定了痕量分析用气体的深度纯化技术。经纯化后气体的目标组分含量的体积分数低于 0.01X10-,压力为0.1MPa～~18MPa，流量为0.1L/min~100L/min。 本标准适用于仪表校准用零点气、气相色谱分析所用的载气和标准气体的平衡气。本标准适用的 气体为氧气、氢气、氮气、氨气、氩气、氩气、气、氙气。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法 GB/T28726气体分析氨离子化气相色谱法 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 痕量气体分析 trace gases analysis 对纯气体中含量在0.1×10-（体积分数）以下的杂质组分进行的定量分析。 3.2 零点气zerogas 目标组分体积分数足够低的气体或混合气体，用于在指定的仪器和指定的范围内产生零点响应。 用于痕量分析仪器的零点气，其目标组分的体积分数应低于0.01×10-6。 3.3 气体纯化 purification of gases 以化学反应、吸附、吸收、溶解、扩散、分凝等一种或多种方式，将某一或某些种类的气体从本底气体 中分离出去，从而将本底气体提纯的过程。 3.4 气体纯化器 gas purifier 能够将某一或某些种类的气体从本底气体中分离出去，从而将本底气体提纯的器材或设备。 4气体深度纯化技术 4.1金属吸气剂法 4.1.1原理 某些金属或金属间化合物例如锆钒铁、锆铝、锆稀土等材料，其表面能够吸附水、氧、一氧化碳、二氧 1 GB/T33360—2016 化碳、甲烷等杂质气体。在一定温度下，上述杂质会从材料表面不断扩散进人材料内部，在杂质向内部 扩散速率大于表面吸附速率的条件下可以将杂质气体从被纯化气体中去除。不同的被纯化气体应使用 不同的吸气剂材料。 4.1.2 流程 金属吸气剂气体纯化流程见图1。不锈钢气体纯化罐内装填的是吸气剂材料。由于该类材料在高 所使用的吸气剂材料和被纯化的气体决定。 说明： 不锈钢罐； 1 2 恒温加热器。 SZIC 图1 加热型气体纯化器示意图 4.1.3 纯化技术指标 金属吸气剂气体纯化技术指标见表1。 表1 金属吸气剂气体纯化技术指标 被纯化气体 目标组分 氨气、氛气、氩气、氨气、氙气 氮气 氢气 氧（O）含量（体积分数）/10-6 0.01 0.01 0.01 水（H2O)含量（体积分数）/10-6 < 0.01 0.01 0.01 一氧化碳（CO)含量（体积分数）/10-6 > 0.01 0.01 0.01 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 < 0.01 0.01 0.01 氢（H）含量（体积分数）/10-6 0.01 0,01 氮（N2）含量（体积分数）/10-6 < 0.01 0.01 非甲烷碳氢化合物含量（体积分数）/10一 0.01 0.01 0.01 甲烷（CH，）含量（体积分数）/106 < 0.01 0.01 4.2J 脱氧剂和分子筛吸附法 4.2.1 原理 脱氧剂利用的是过渡族金属（如镍、锰等）的多元还原态体系脱氧，即在室温下，低价还原态物质直 接与气体中的氧反应而实现脱氧。脱氧饱和后可以加热通氢进行还原再生。 2