文库搜索
切换导航
首页
频道
安全标准
安全报告
安全文档
首页
安全标准
安全报告
安全文档
批量下载
使用说明
官方交流群
会员登录
ICS 77.150.30 H 62 中华人民共和国国家标准 GB/T39158—2020 平面显示用高纯铜旋转管靶 High purity copper rotatable tube target for flat panel display 2021-10-01实施 2020-11-19发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T39158—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国有色金属工业协会提出 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有 限公司、沈阳有色金属加工有限公司。 本标准主要起草人:曾浩、罗俊锋、韩知为、贺昕、董艳霞、陈明、熊晓东、曹欢欢、万小勇、林若虚 袁海军、刘晓、张健、郭姗姗。 SC 1 GB/T391582020 平面显示用高纯铜旋转管靶 1范围 本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标 志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。 本标准适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 GB/T1804一2000一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差 GBT5121.27铜及铜合金化学分析方法第27部分:电感耦合等离子体原子发射光谱法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T347铜及铜合金平均晶粒度测定方法 YS/T 922 高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 YS/T10002014铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 旋转管靶 rotatable tube target 种平板显示领域用的管状靶材。 注:主要用于电子薄膜沉积。 3.2 表面粗糙度 surfaceroughness Ra 加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廓的平均算术偏差值Ra,即在一定测量长度1 范围内,轮廓上各点至中线距离绝对值的平均算术偏差。用下式表示: yldr 4分类 产品的牌号按纯度分RCu-4N、RCu-4N5、RCu-5N三个牌号。产品的规格可分为$155×438、155X 888、155×1091、Φ155×888、Φ167×2490。不同牌号对应的规格见表1。 示例:铜含量为99.995%的旋转铜靶,表示为RCu-4N5 1 GB/T39158—2020 表 1 牌号与规格 规格 牌号 mm RCu-4N $155X438、$155×888 RCu-4N5 $155×1091$155×888 RCu-5N $167×2490 5 技术要求 5.1 化学成分 平面显示用高纯铜旋转管靶的化学成分要求应符合表2规定。 表 2 化学成分 牌号 RCu-4N RCu-4N5 RCu-5N 铜含量(质量分数)/%,不小于 99.99 $6666 666°66 Ag 25 2 一 A1 一 0.5 As 20 5 0.1 Bi 20 1 0.2 Ca 0.5 Cd I 0.1 Co 0.3 一 Cr 一 一 0.1 F 1 1 一 杂质元素含量 Fe 30 10 0.5 (质量分数)/10-4%, Mn 10 0.5 0.1 不大于 IN 10 10 0.5 P 3 3 0.1 Pb 10 5 0.05 Sb 10 4 0.1 Se 3 0.1 Is 一 一 0.5 Sn 10 2 0.1 Te 2 0.1 Zn 10 1 0.1 2
GB-T 39158-2020 平面显示用高纯铜旋转管靶
安全标准
>
国标
>
文档预览
中文文档
8 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
0 收藏
3.0分
赞助1.5元下载(无需注册)
温馨提示:本文档共8页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
下载文档到电脑,方便使用
赞助1.5元下载
本文档由
思安
于
2023-01-20 11:00:22
上传分享
举报
下载
原文档
(1.0 MB)
分享
给文档打分
您好可以输入
255
个字符
网站域名是多少( 答案:
github5.com
)
评论列表
暂时还没有评论,期待您的金玉良言
热门文档
T-CPARK 14—2020 预制构件养护窑.pdf
GB-T 36305-2018 防伪票证产品技术条件.pdf
GB-T 35361-2017 潜水器钛合金对接焊缝超声波检测及质量分级.pdf
NIST 特别出版物 800 安全软件开发框架 (SSDF) 1.1 版:降低软件漏洞风险的建议o.pdf
T-CESA 1040—2019 信息技术 人工智能 面向机器学习的数据标注规程.pdf
ISO27001 中文解说版.pdf
奇安信 2021网络安全应急响应分析报告.pdf
JR-T 0138-2016 银团贷款业务技术指南.pdf
民航 CTSO-C145e 使用星基增强系统 SBAS 增强全球定位系统的机载导航传感器.pdf
T-CRETA 0001—2023 白云鄂博矿选冶固废制备绿色建材放射性限量.pdf
GB-T 30903-2014 无机化工产品 杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS).pdf
GB-T 20004.2-2018 团体标准化 第2部分:良好行为评价指南.pdf
GB-T 22024-2008 气雾剂级正丁烷 A-17.pdf
DL-T 1998-2019 感应滤波变压器成套设备使用技术条件.pdf
CSA 实现安全应用容器架构的最佳实践.pdf
GB 43068-2023 煤矿用跑车防护装置安全技术要求.pdf
GB-T 13043-2022 客车定型试验规程.pdf
T-WAPIA 045.1—2021 信息技术 系统间远程通信和信息交换 原子密钥建立与实体鉴别 第1部分:服务和协议.pdf
T-GAZE 3002—2023 共享医疗综合体管理指南.pdf
JY-T 0580-2020 元素分析仪分析方法通则.pdf
1
/
3
8
评价文档
赞助1.5元 点击下载(1.0 MB)
回到顶部
×
微信扫码支付
1.5
元 自动下载
官方客服微信:siduwenku
支付 完成后 如未跳转 点击这里 下载
享优惠, 办会员
每年仅需
99
元(可开发票 无限下载)
加客服微信扫描如下二维码 咨询
×
分享,让知识传承更久远
×
文档举报
举报原因:
×
优惠下载该文档
免费下载 微信群 欢迎您
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们
微信(点击查看客服)
,我们将及时删除相关资源。